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李璟

作品数：32 被引量：66H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家科技重大专项上海市科技人才计划项目更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 5篇机械工程
  • 4篇理学
  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 15篇光学
  • 10篇光刻
  • 10篇光学元件
  • 9篇激光
  • 8篇衍射
  • 8篇衍射光学
  • 8篇衍射光学元件
  • 8篇光刻机
  • 6篇镜面
  • 6篇光源
  • 4篇激光器
  • 4篇光斑
  • 4篇光纤
  • 4篇波带片
  • 3篇调整架
  • 3篇数值孔径
  • 3篇透镜
  • 3篇校正方法
  • 3篇光电
  • 3篇光强

机构

  • 32篇中国科学院上...
  • 5篇中国科学院大...
  • 1篇解放军电子工...

作者

  • 32篇李璟
  • 32篇黄惠杰
  • 32篇杨宝喜
  • 24篇陈明
  • 19篇朱菁
  • 12篇胡小邦
  • 10篇张方
  • 9篇曾爱军
  • 6篇师中华
  • 5篇胡中华
  • 5篇王健
  • 4篇薛佩佩
  • 4篇肖艳芬
  • 4篇宋强
  • 3篇王振
  • 2篇葛丹丹
  • 2篇李兆泽
  • 2篇任冰强
  • 2篇孙征宇
  • 2篇张友宝

传媒

  • 3篇光学学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇中国激光

年份

  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 7篇2016
  • 5篇2015
  • 10篇2014
  • 7篇2013
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
长导轨直线度测量装置
一种长导轨直线度测量装置，包括测量头、角锥镜装置和计算机；测量头包括激光器，依次排列在激光器出射光路上的第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和窗口玻璃，位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、...
杨宝喜李璟胡小邦侯莉颖黄立华黄惠杰
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光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法
一种光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，包括：低相干光源、激光测长光源、红光指示光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一光纤环形器、第二光纤环形器、第一光纤准直器、电机驱动移动平台、可移动扫描反射镜、第...
杨宝喜师中华胡小邦魏张帆李璟陈明黄惠杰
文献传递
用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个...
朱菁王健黄惠杰张方杨宝喜陈明李璟魏张帆
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光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法
一种光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法，该方法是沿光轴方向移动所述的聚光镜组的最后一块透镜，实现矩形照明光斑边缘位置和中心位置相对光强的调节。本发明无需添加额外的光学元件，仅依靠原光刻机曝光系统中已有光学元件的简单移动，...
朱菁黄惠杰曾爱军杨宝喜陈明李璟王健魏张帆张方
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非球面面形的检测方法
一种非球面面形的检测方法，该方法包括以下步骤：根据待测非球面制作与之匹配的反射补偿镜；在移相干涉仪输出光束方向依次放入标准镜、待测非球面和反射补偿镜；调整光路；调整所述的待测非球面和所述的反射补偿镜之间的距离获得完整清晰...
杨宝喜袁乔曾爱军李璟陈明黄惠杰
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光学镜面间距测量技术研究进展被引量：5
2015年
透镜作为光学系统中最基本的光学元件,其中心厚度的加工误差和装配精度将直接关系到整个光学系统的成像质量。对镜面间距非接触测量技术进行了研究,重点介绍了图像法、轴向色散法、差动共焦法、低相干光干涉法等方法的测量原理和研究进展,指出了这些方法的优缺点和适用范围。这些方法都能满足一般光学系统的精度要求,其中低相干光干涉法测量精度最高,轴向色散法、差动共焦法次之,图像法测量精度最低。对光学镜面间距测量技术的发展趋势进行了论述。
师中华杨宝喜魏张帆李璟黄惠杰
关键词：图像法
大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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基于受激光发射损耗的激光直写曝光装置
一种基于受激发射光损耗激光直写曝光装置，其特点在于其构成包括激发光源、退激发光源、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二分之一波片组、二向色镜、相位型波带片、振幅型波带片、高数值孔径消色差物镜和三维扫描平台。本发明可实现...
朱菁黄惠杰杨宝喜宋强张方王键陈明李璟
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用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个...
朱菁王健黄惠杰张方杨宝喜陈明李璟魏张帆
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光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法
一种光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法，该方法是沿光轴方向移动所述的聚光镜组的最后一块透镜，实现矩形照明光斑边缘位置和中心位置相对光强的调节。本发明无需添加额外的光学元件，仅依靠原光刻机曝光系统中已有光学元件的简单移动，...
朱菁黄惠杰曾爱军杨宝喜陈明李璟王健魏张帆张方
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