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邓鹏飞

作品数:37 被引量:0H指数:0
供职机构:西安电子科技大学更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 35篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 4篇一般工业技术

主题

  • 33篇石墨
  • 33篇石墨烯
  • 31篇样片
  • 25篇碳膜
  • 25篇退火
  • 18篇SUB
  • 15篇衬底
  • 14篇电子器件
  • 14篇微电子
  • 14篇微电子器件
  • 11篇SIC衬底
  • 11篇层数
  • 10篇CU膜
  • 8篇电子迁移率
  • 8篇迁移率
  • 3篇石墨烯晶体管
  • 3篇晶体管
  • 3篇孔隙率
  • 2篇基底
  • 2篇SI衬底

机构

  • 37篇西安电子科技...

作者

  • 37篇邓鹏飞
  • 35篇雷天民
  • 35篇张克基
  • 35篇郭辉
  • 35篇张玉明
  • 12篇张凤祁
  • 7篇张晨旭
  • 5篇吕晋军

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2015
  • 11篇2013
  • 24篇2012
37 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于Ni膜退火的SiC与Cl<Sub>2</Sub>反应制备结构化石墨烯的方法
本发明公开了一种基于Ni膜退火的SiC与Cl<Sub>2</Sub>反应制备结构化石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯表面不光滑、连续性不好、层数不均匀的问题。其实现过程是:先对SiC样片进行标准清洗;再在清洗后...
郭辉邓鹏飞张玉明张克基雷天民张凤祁
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基于Cu膜辅助退火的石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Cu膜辅助退火的石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯面积小、连续性不好、层数不均匀的问题。本发明采用在4-12英寸的Si衬底基片上先生长一层碳化层作为过渡,然后在温度为1100℃-1250℃...
郭辉张克基张玉明邓鹏飞雷天民
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基于Ni膜退火的结构化石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Ni膜退火的结构化石墨烯制备方法,主要解决用现有技术制备石墨烯连续性不好、层数不均匀,导致制作器件时由于光刻工艺使石墨烯的电子迁移率降低的问题。其实现步骤如下:(1)在Si衬底上先生长一层碳化层作为过...
郭辉张晨旭张玉明张克基雷天民邓鹏飞
基于Cl<Sub>2</Sub>反应的结构化石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Cl<Sub>2</Sub>反应的结构化石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯层数不均匀,且制作器件时由于光刻工艺导致石墨烯电子迁移率降低的问题。其实现过程是:(1)在4-12英寸的Si衬底基...
郭辉张克基张玉明张凤祁邓鹏飞雷天民
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以SiC为基底的石墨烯制备方法
本发明公开了以SiC为基底的石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯表面不光滑、层数不均匀的问题。本发明中先对SiC样片进行标准清洗;将清洗后的SiC样片置于石英管中;利用Ar气携带CCl<Sub>4</Sub>蒸...
郭辉吕晋军张玉明张克基邓鹏飞雷天民
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基于Cu膜辅助退火和Cl<Sub>2</Sub>反应的大面积石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Cu膜辅助退火和Cl<Sub>2</Sub>反应的大面积石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯面积小、层数不均匀的问题。(1)在4-12英寸的Si衬底基片上先生长一层碳化层作为过渡;(2)在温...
郭辉张克基张玉明邓鹏飞雷天民
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在3C-SiC衬底上制备石墨烯的方法
本发明公开了在3C-SiC衬底上制备石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯面积小、层数不均匀的问题。本发明采用在4-12英寸的Si衬底基片上先生长一层碳化层作为过渡,然后在温度为1150℃-1300℃下进行3C-S...
郭辉吕晋军张玉明张克基邓鹏飞雷天民
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基于Cl<Sub>2</Sub>反应的SiC衬底上制备结构化石墨烯的方法
本发明公开了一种基于Cl<Sub>2</Sub>反应的SiC衬底上制备结构化石墨烯的方法,主要解决现有技术制备的石墨烯表面不光滑,层数不均匀,制作器件时由于光刻工艺导致石墨烯中电子迁移率降低的问题。其实现过程是:先对Si...
郭辉邓鹏飞张玉明张克基雷天民张凤祁
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基于Ni膜退火的SiC衬底上结构化石墨烯制备方法
本发明公开了一种基于Ni膜退火的SiC衬底上结构化石墨烯制备方法,主要解决现有技术制备的石墨烯表面不光滑、连续性不好、层数不均匀的问题。其实现步骤是:先对SiC样片进行标准清洗;再在SiC样片表面淀积一层SiO<Sub>...
郭辉张克基张玉明张凤祁雷天民邓鹏飞
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碳纤维复合材料结构的力学行为研究
由于其高比强度、耐腐蚀性和优异的可设计性等特点,碳纤维复合材料在航空航天、海洋管道、水下航行器、高压气体储存等领域具有广泛的应用。由于碳纤维复合材料细观结构的不同会导致材料宏观属性差距很大,因此碳纤维复合材料应用的前提是...
邓鹏飞
关键词:碳纤维复合材料
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共4页<1234>
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