张爱军
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：华润上华科技股份有限公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- MEMS压力传感器工艺可靠性测试评价被引量：6
- 2017年
- 随着MEMS技术的飞速发展,可靠性问题逐渐成为MEMS器件在军事和商业中应用的重要阻碍。结合器件的工作环境,分别从高温、高温高湿、温度冲击、过电压、压力过载、温湿循环等环境负载方面探讨硅压阻式MEMS压力传感器的工艺可靠性问题。试验结果表明,环境负载后,圆片级器件特性参数基本无变化,而封装级器件特性参数有不同程度的漂移。参照工厂制定的工艺标准(<10%),封装级器件测试数据可以有效监控MEM产品的工艺质量。
- 马婷婷马书鯼张爱军
- 关键词：MEMS传感器可靠性
- LDMOS热载流子注入效应安全工作区的研究
- 2013年
- 安全工作区(SOA)是MOSFET器件设计中的一个关键参数。传统CMOS在衬底电流-栅极电压曲线上只出现一个衬底电流峰值,该峰值可直接反映出热载流子注入(HCI)效应最强的位置,因此可以容易地给出其SOA;而对于横向双扩散MOSFET(LDMOS)器件,由于Kirk效应的发生,造成其衬底电流峰值不明显,此时的衬底电流已经不能再完全反映HCI效应的强弱,单纯使用Hu模式或衬底电流模式对SOA测试和分析都不合适。针对发生严重Kirk效应的LDMOS,此处提出一套更合理的HCI SOA测试方法,该方法既能节省测试时间,同时准确性又高。
- 马书嫏王少荣张爱军
- 关键词：晶体管安全工作区热载流子注入
