石倩
- 作品数：23 被引量：26H指数：4
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术生物学电子电信更多>>
- 一种AZO膜层室温沉积方法
- 一种AZO膜层室温沉积方法。其特征是由以下步骤组成：(1)将衬底进行超声波清洗、烘干后放入真空室中，本底真空度小于4.0×10<Sup>-3</Sup>Pa，在室温，工件转速0～2rpm，气压0.2～0.5Pa，离子源3...
- 石倩代明江周克崧林松盛侯惠君韦春贝胡芳
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- 一种钕铁硼永磁材料表面防护层及其制备方法
- 一种钕铁硼永磁材料表面防护层及其制备方法。其特征在于所述表面防护层依次由钕铁硼基材1；铝过渡层2和蒸发镀铝层3构成。所述的表面防护层的制备方法，其特征在于依次由下列步骤组成：1）对钕铁硼永磁材料镀前除油、除锈处理；2）工...
- 林松盛胡芳许伟代明江候惠君韦春贝石倩
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- 新型ZnO基透明导电薄膜的制备和性能研究
- 未掺杂的ZnO薄膜由于Zn间隙和O空位原子的存在,偏离了理想化学计量比而呈现出弱n型半导体。但是这种本征半导体的电学性能很不稳定,极易受到温度等外界条件的干扰,而通过掺杂可以提高薄膜电学性能的稳定性。近年来对ZnO及其掺...
- 石倩代明江林松盛胡芳侯惠君韦春贝
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- 离子源复合真空镀膜成套装备、工艺及应用被引量：1
- 2015年
- 随着我国加工制造业的发展，对高性能薄膜的需求与日剧增。我国在真空镀膜行业，目前更多的应用都集中在装饰方面，对能有效地提高关键部件使用寿命机械功能薄膜的制备设备、工艺及应用研究方面还远远落后于国外先进水平。同时，装饰镀方面也逐渐向耐磨和装饰双重功能的方向发展，之前的离子镀装备已出现不能满足高档装饰镀要求的问题。为此，广州有色金属研究院联合北京丹普表面技术有限公司进行离子源复合真空镀膜装备、工艺及应用的研究，以期提高我国装备制造业的技术水平和促进我国真空离子镀的技术发展。
- 代明江林松盛董骐侯惠君周克崧刘敏罗蓉平韦春贝胡芳林凯生田俊瑞肖晓玲李福球朱霞高石倩赵利
- 关键词：真空镀膜离子源真空离子镀
- 一种ZnO透明导电膜层的制备方法
- 一种ZnO透明导电膜层的制备方法。由以下步骤组成：(1)衬底除油、清洗、烘干后放入真空室中，本底真空度＜4.0×10<Sup>-3</Sup>Pa，工作温度为室温，气压0.2～0.6Pa，离子源200～400W和偏压20...
- 石倩周克崧代明江林松盛侯惠君韦春贝胡芳
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- 一种半导体照明用绝缘导热膜层材料及其制备方法
- 一种半导体照明用绝缘导热膜层材料及其制备方法，其特征是依次由基材(1)；铝过渡层(2)和氮化铝膜层(3)构成。其制备方法依次包括离子束清洗基材，沉积铝过渡层和氮化铝层。本发明提供的一种半导体照明用绝缘导热薄膜材料具有良好...
- 林松盛代明江刘兰兰胡芳侯惠君韦春贝石倩
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- 溅射条件对ZnO:Al薄膜生长和性能的影响（英文）
- 2015年
- 采用中频磁控溅射法在玻璃基体上制备Al掺杂ZnO薄膜(AZO),分别利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、分光光度计及霍尔测试系统研究不同沉积条件如样品台转速和靶-基距离对薄膜光学、电学、微观形貌及晶体结构的影响。XRD结果表明,所有AZO薄膜都呈c轴择优取向,薄膜的结晶度随着样品台转速的增大而降低,且晶粒呈非平衡状态生长。而在不同的靶-基距离时,薄膜具有相似的微观结构和表面形貌。当样品台转速为0、靶-基距离为7 cm时,AZO薄膜的光电性能最好,载流子浓度和霍尔迁移率分别为5.9×1020 cm-3和13.1 cm2/(V·s)。研究结果表明,样品台转速是影响AZO膜的结构和性能的主要因素。
- 石倩代明江林松盛侯惠君韦春贝胡芳
- 关键词：ZNO薄膜中频磁控溅射光电性能
- 一种无氢掺硅类金刚石膜层及其制备方法
- 一种无氢掺硅类金刚石膜层。其特征是依次由基体(1)；金属层(2)；金属碳化物层(3)；掺硅类金刚石膜层(4)构成。制备方法是采用直流磁控溅射石墨靶、中频磁控溅射碳化硅靶或硅靶以及离子源辅助沉积，依次氩离子清洗基体；沉积金...
- 胡芳代明江林松盛侯惠君韦春贝石倩张贺勇
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- 含氢掺硅类金刚石薄膜的制备及性能研究
- 类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)具有高硬度、较低的摩擦系数以及良好的耐磨性而获得了广泛的应用。但是,限制DLC膜层应用的两个主要问题是膜层的内应力较大,导致膜层与基体之间的结合程度较差;另外...
- 胡芳代明江林松盛石倩
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- 磁控溅射固体润滑MoS2薄膜的制备及摩擦学性能
- MoS薄膜被誉为"固体润滑之王",具有非常低的摩擦系数,被广泛应用在齿轮、活塞、轴承、模具等关键运动部件以及加工工模具中,与润滑油相比具有清洁无污染、承载力高等特点,可在高低温、高真空、高载荷、辐射等恶劣环境中长期而稳定...
- 韦春贝蓝荣福侯惠君代明江林松盛石倩胡芳
- 关键词：磁控溅射掺杂摩擦学性能
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