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米健

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：天津大学电子信息工程学院电子信息工程系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅压力传...
  • 1篇压力传感器
  • 1篇温度系数
  • 1篇力传感器
  • 1篇硅压力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇高性能

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇朱秀文
  • 1篇米健

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇1993
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高性能多晶硅压力传感器的研制
1993年
本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10^(-6)FS/℃,可实现近乎理想的灵敏度温度补偿.
朱秀文侯曾燏米健
关键词：多晶硅压力传感器温度系数
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共1页<1>
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