朱秀文
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：天津大学电子信息工程学院电子信息工程系更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 高性能多晶硅压力传感器的研制
- 1993年
- 本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10^(-6)FS/℃,可实现近乎理想的灵敏度温度补偿.
- 朱秀文侯曾燏米健
- 关键词：多晶硅压力传感器温度系数
- 硅高温压力传感器
- 一种硅高温压力传感器。涉及一种测量压力的存在及其数值大小的半导体敏感器件，尤其是在较高温度下测量。此实用新型主要由硅杯及应变膜和联结成电桥的四个压敏电阻构成。硅杯6的应变膜11与多晶压敏电阻1、2、3、4之间是二氧化硅绝...
- 张维新朱秀文毛赣如
- 文献传递
- 硅压阻式低压传感器研制被引量：3
- 1992年
- 以各向异性腐蚀技术制造的矩形硅膜片为弹性敏感元件,研制了硅压阻式低压传感器。通过对矩形硅膜上应力分布的分析和计算,确定了力敏电阻的最佳位置和尺寸。压敏电阻全桥采用集成电路技术制作在2.5mm×5.5mm、厚35μm的矩形硅膜片上。在0～20kPa压力范围内,测得577μV/kPa·V的灵敏度,理论和实验结果有较好的一致性。
- 朱秀文张维新毛干茹宫丽文
- 关键词：传感器硅压阻式压力传感器
- 数字输出的新型传感器——触发器型压力传感器的研究
- 张生才朱秀文侯曾一
- 关键词：压力传感器触发器性能分析
