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尹志军

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
相关领域：一般工业技术轻工技术与工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 8篇超高真空
  • 6篇溅射
  • 6篇磁控
  • 6篇磁控溅射
  • 5篇氮化镓
  • 4篇真空系统
  • 4篇屏蔽罩
  • 4篇气相外延
  • 4篇外延法
  • 4篇离子
  • 4篇离子源
  • 4篇密封法
  • 4篇金属有机物
  • 4篇金属有机物气...
  • 4篇高真空
  • 4篇高真空系统
  • 4篇法兰
  • 4篇分子束
  • 4篇分子束外延
  • 4篇分子束外延法

机构

  • 21篇中国科学院合...

作者

  • 21篇尹志军
  • 17篇李新化
  • 16篇邱凯
  • 15篇王玉琦
  • 12篇钟飞
  • 6篇姬长建
  • 6篇解新建
  • 4篇曹先存
  • 4篇陈家荣
  • 3篇李明涛
  • 3篇孟国文
  • 2篇刘敏
  • 2篇张倬
  • 2篇高理升
  • 2篇段铖宏
  • 2篇罗向东
  • 2篇林新华
  • 2篇陈池来
  • 2篇孔明光
  • 2篇韩奇峰

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 4篇2010
  • 4篇2009
  • 6篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
氮化镓薄膜材料的制备方法
本发明公开了一种氮化镓薄膜材料的制备方法。它包括分子束外延法和氢化物气相外延法，特别是完成步骤为：1)使用分子束外延法在蓝宝石衬底上依次分别生长出氮化铝膜和具有混合极性的氮化镓膜；2)先将其上覆有氮化铝膜和氮化镓膜的蓝宝...
解新建王玉琦钟飞姬长建尹志军邱凯李新化
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自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它包括分子束外延法或金属有机物气相外延法和氢或氯化物气相外延法，步骤为(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢或氯化物气...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
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多孔氧化锌微米粉体及其制备方法和应用
本发明公开了一种多孔氧化锌微米粉体及其制备方法和应用。粉体由粒径为50～100nm的颗粒状氧化锌构成多孔微米块，多孔微米块上的孔直径为20～70nm，多孔微米块的块长为5～10μm、块宽为5～10μm、块高为10～20μ...
李明涛孟国文尹志军张倬孔明光
用于超高真空系统的中空阳极离子源
本发明公开了一种用于超高真空系统的中空阳极离子源。它的阴极(8)下部为水冷腔(10)、上部为离化室(28)，其外依次套装绝缘套和金属套筒，水冷腔(10)下端口为贯通焊接有进水管(20)和出水管(21)的盖板(11)，出水...
徐大林邱凯李新化王玉琦曹先存尹志军罗向东
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用于10<Sup>-8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
本发明公开了一种用于10<Sup>－8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置。它的水冷腔(3)内置有软铁(5)和磁钢(4)、下端面与水冷腔密封法兰(17)上端面间置有O形金属密封圈(7)，并经螺丝(22)相...
邱凯李新化钟飞尹志军解新建王玉琦
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巨磁阻磁传感器及其制备方法
本发明公开了一种巨磁阻磁传感器及其制备方法。传感器包括基片(1)和其上的绝缘层(2)、夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)，特别是夹裹有导电层(5)的铁磁层(4)外套装有线圈(3)，线圈(3)和铁磁层(4)均由绝缘层(2)裹...
李新化邱凯尹志军钟飞姬长建陈家荣王玉琦林新华陈池来高理升
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氮化镓薄膜材料的制备方法
本发明公开了一种氮化镓薄膜材料的制备方法。它包括分子束外延法和氢化物气相外延法，特别是完成步骤为：1)使用分子束外延法在蓝宝石衬底上依次分别生长出氮化铝膜和具有混合极性的氮化镓膜；2)先将其上覆有氮化铝膜和氮化镓膜的蓝宝...
解新建王玉琦钟飞姬长建尹志军邱凯李新化
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基于非晶磁芯线圈的磁敏传感器及其工作方法
本发明公开了一种基于非晶磁芯线圈的磁敏传感器及其工作方法。传感器由非晶磁芯磁敏元件和工作电路组成，其中的非晶磁芯磁敏元件为片状非晶材料层叠构成的块状磁芯(1)外依次置有电感线圈(2)、绝缘层(3)和偏置线圈(4)，工作电...
郭浩民文龙刘长菊赵志飞肖正国曾雪松刘柱李新化尹志军史同飞王玉琦
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超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
本发明公开了一种超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶。它包括贯穿安装法兰(1)的、与靶屏蔽罩(3)内的水冷腔部件(5)相连接的冷却水管(6)，特别是(a)冷却水管(6)经冷却水管密封部件(2)与安装法兰(1)相连接；(b)水冷...
邱凯韩奇峰姬长建曹先存段铖宏尹志军李新化王玉琦
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自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它的制备步骤为：(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢化物或氯化物气相外延法于其上生长首层氮化镓外延层；(b)将覆有氮...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
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