您的位置： 专家智库 > >

邱凯

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 8篇超高真空
  • 7篇氮化镓
  • 6篇外延法
  • 6篇溅射
  • 6篇磁控
  • 6篇磁控溅射
  • 4篇淀积
  • 4篇真空系统
  • 4篇屏蔽罩
  • 4篇气相淀积
  • 4篇气相外延
  • 4篇离子
  • 4篇离子源
  • 4篇密封法
  • 4篇金属有机物
  • 4篇金属有机物气...
  • 4篇刻蚀
  • 4篇化学气相淀积
  • 4篇高真空
  • 4篇高真空系统

机构

  • 21篇中国科学院合...

作者

  • 21篇邱凯
  • 18篇李新化
  • 16篇尹志军
  • 16篇王玉琦
  • 12篇钟飞
  • 6篇姬长建
  • 6篇解新建
  • 6篇陈家荣
  • 4篇曹先存
  • 2篇刘敏
  • 2篇高理升
  • 2篇段铖宏
  • 2篇罗向东
  • 2篇林新华
  • 2篇陈池来
  • 2篇陈文锦
  • 2篇韩奇峰
  • 2篇徐大林

年份

  • 1篇2011
  • 4篇2010
  • 6篇2009
  • 7篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇2006
共 21 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
用于10<Sup>-8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
本发明公开了一种用于10<Sup>－8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置。它的水冷腔(3)内置有软铁(5)和磁钢(4)、下端面与水冷腔密封法兰(17)上端面间置有O形金属密封圈(7)，并经螺丝(22)相...
邱凯李新化钟飞尹志军解新建王玉琦
文献传递
具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法
本发明公开了一种具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法。二极管为衬底(1)上有氮化镓层(2)、正极、负极(3)和掩模(4)，正极含氮化镓铝层(8)、肖特基接触金属层(7)、多晶硅层(6)和...
陈家荣王玉琦陈文锦邱凯李新化
文献传递
超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
本发明公开了一种超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶。它包括贯穿安装法兰(1)的、与靶屏蔽罩(3)内的水冷腔部件(5)相连接的冷却水管(6)，特别是(a)冷却水管(6)经冷却水管密封部件(2)与安装法兰(1)相连接；(b)水冷...
邱凯韩奇峰姬长建曹先存段铖宏尹志军李新化王玉琦
文献传递
自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它的制备步骤为：(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢化物或氯化物气相外延法于其上生长首层氮化镓外延层；(b)将覆有氮...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
文献传递
GaN基整流器件的设计与制作
GaN基材料是当前发展高温、高频和大功率应用电子器件的重要材料，AlGaN/GaN异质结器件及其制备技术引起了人们极大的兴趣。本文重点讨论了具有高反向击穿电压和低正向导通电压的AlGaN/GaN异质结整流器件的设计和制作...
邱凯
关键词：整流器件氮化镓基材料
高密度等离子体增强化学气相淀积与刻蚀设备
本发明公开了一种高密度等离子体增强化学气相淀积与刻蚀设备。它包括真空室(8)和其内置有的电极，以及与真空室(8)相连通的进、出气口(9，4)，特别是真空室(8)和其内置有的电极均水平设置，电极为射频电极(2)和接地电极(...
邱凯
文献传递
用于10<Sup>-8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
本发明公开了一种用于10<Sup>-8</Sup>Pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置。它的水冷腔(3)内置有软铁(5)和磁钢(4)、下端面与水冷腔密封法兰(17)上端面间置有O形金属密封圈(7)，并经螺丝(22)相...
邱凯李新化钟飞尹志军解新建王玉琦
文献传递
霍尔型离子源
本发明公开了一种霍尔型离子源。它的阴极灯丝(1)经灯丝支架(2)和灯丝绝缘座(3)与屏蔽罩上盖(4)固定连接，柱状体阳极(14)上部的内腔为带有一只以上阳极进气口(13)的阳极放电室(12)、下部为内置软铁(16)和磁铁...
邱凯李新化钟飞尹志军刘敏王玉琦
文献传递
自剥离氮化镓衬底材料的制备方法
本发明公开了一种自剥离氮化镓衬底材料的制备方法。它包括分子束外延法或金属有机物气相外延法和氢或氯化物气相外延法，步骤为(a)使用分子束外延法或金属有机物气相外延法于蓝宝石衬底上生长氮化铝或氮化镓成核层，再使用氢或氯化物气...
邱凯尹志军李新化钟飞解新建王玉琦
文献传递
用于超高真空系统的中空阳极离子源
本发明公开了一种用于超高真空系统的中空阳极离子源。它的阴极(8)下部为水冷腔(10)、上部为离化室(28)，其外依次套装绝缘套和金属套筒，水冷腔(10)下端口为贯通焊接有进水管(20)和出水管(21)的盖板(11)，出水...
徐大林邱凯李新化王玉琦曹先存尹志军罗向东
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0