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李晓娜

作品数:106 被引量:206H指数:9
供职机构:大连理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金辽宁省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术金属学及工艺电子电信理学更多>>

文献类型

  • 44篇专利
  • 43篇期刊文章
  • 14篇会议论文
  • 4篇学位论文

领域

  • 33篇一般工业技术
  • 29篇金属学及工艺
  • 11篇电子电信
  • 10篇理学
  • 2篇化学工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇医药卫生
  • 1篇生物学
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇冶金工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇农业科学

主题

  • 49篇合金
  • 18篇固溶
  • 15篇溅射
  • 13篇电阻率
  • 13篇固溶体
  • 13篇磁控
  • 13篇磁控溅射
  • 11篇非晶
  • 11篇FESI
  • 10篇金薄膜
  • 10篇合金薄膜
  • 10篇CU
  • 9篇铜合金
  • 9篇团簇
  • 9篇Β-FESI...
  • 9篇半导体
  • 8篇离子注入
  • 8篇晶态
  • 8篇非晶薄膜
  • 8篇非晶态

机构

  • 104篇大连理工大学
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  • 1篇清华大学
  • 1篇教育部
  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇中国科学院金...
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作者

  • 105篇李晓娜
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  • 20篇郑月红
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  • 5篇李群
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  • 3篇陈硕
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  • 3篇王英敏
  • 3篇宫泽祥
  • 3篇朱瑾

传媒

  • 7篇物理学报
  • 5篇表面技术
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  • 4篇金属学报
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  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 6篇2023
  • 4篇2022
  • 5篇2021
  • 7篇2020
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 9篇2017
  • 7篇2016
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 10篇2013
  • 3篇2012
  • 6篇2011
  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
  • 2篇2004
106 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
离子注入形成YSi_2埋层的电镜研究
1996年
本文主要采用离子注入的方法制备“Si/YSi_2/Si”异质结构,并以电子显微镜为手段研究YSi_2埋层的形成及YSi_2/Si界面的微观结构。我们发现YSi_2埋层以“[001]YSi_2//[111]Si”为取向关系在Si基体中择优生长,而且注入法合成的YSi_2不存在空位有序结构。
金星宫泽祥李晓娜马腾才杨大智张泽
关键词:离子注入硅化物埋层电子显微镜集成电路
一种多组元复杂共格析出强化Cu-Ni-Al-Cr-Ti耐高温铜合金及其制备方法
一种多组元复杂共格析出强化Cu‑Ni‑Al‑Cr‑Ti耐高温铜合金及其制备方法,其属于耐高温铜合金领域。该铜合金的质量百分比组成为Cu:58.67~64.85wt%,Ni:26.18~28.94%,Al:4.51~4.9...
李晓娜邵莹莹董闯
单交叉口自适应控制方法的研究
本文以城市交通信号控制系统中的单交叉口为研究对象,通过对单点自适应控制方法的研究,旨在改善单点的控制效果。本文分别对两种自适应控制方法进行了研究,即基于优化的方法和基于模糊逻辑的方法,并对已有方法进行了改进,然后通过仿真...
李晓娜
关键词:城市交通交通信号控制单交叉口自适应控制模糊控制
文献传递
半导体型β-FeSi<,2>和β-Fe(C,Si)<,2>薄膜的离子注入合成及薄膜的微观影响因素
该文采用MEVVA源(Metal Vapor Vacuum Arc Ion Source)离子注入合成半导体型β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜,用常规透射电镜(TEM)、高分辨电镜(HREM)和掠入射X射线衍射...
李晓娜
关键词:半导体薄膜金属硅化物离子注入透射电子显微镜
文献传递
电阻率与强度性能的关联及铜合金性能分区被引量:1
2019年
铜合金以低电阻率为特征,由于电阻率与强度存在着共同的微观结构机理,两者往往协同变化,而导致难以对合金进行性能的全面评估和选材.本文以Cu-Ni-Mo合金作为研究对象,以团簇结构[Mo_1-Ni_(12)]构建固溶体的近程序结构模型,解析了电阻率和强度依赖于成分的定量变化规律,并定义了拉伸强度/电阻率的值为代表合金本质特性的"强阻比",得到了完全固溶态Cu-Ni-Mo合金的强阻比为7×10~8MPa/?·m,完全析出态的强阻比为(310—490)×10~8MPa/?·m.进而应用强阻比对常用铜合金进行了性能分区,给出铜合金材料选材的依据,得出了基于Cu-(Cr, Zr, Mg, Ag, Cd)等二元基础体系的铜合金适用于高强高导应用,而基于Cu-(Be, Ni, Sn, Fe, Zn, Ti, Al)等为基础二元体系的铜合金不能实现高强高导.该强阻比为310的特征性能分界线的发现为合金性能的全面评估提供了量化依据,可指导高强高导铜合金的选材和研发.
李鸿明李鸿明董闯王清李晓娜赵亚军
关键词:铜合金电阻率
二元无扩散阻挡层Cu(Ti)薄膜的制备和表征
Cu由于具有较低的电阻率和良好的抗电迁移能力已经广泛的取代Al作为互连材料。然而采用Cu作为互连材料也有一些缺点。Cu在低温200℃特别容易和Si反应,Cu易扩散到Si和SiO2中影响器件的性能。为了解决这个问题,通常在...
徐利燕李晓娜孙旭朱瑾董闯
关键词:磁控溅射
文献传递
立方形态B2粒子强化的BCC基高熵高温合金
固溶体基体上共格析出立方形态有序相粒子是高温合金的理想组织。然而由于成分差异导致点阵不匹配,该组织很难出现在有序B2 相强化的BCC 基合金中。高熵合金的多主元合金化有望合理调控二相的点阵错配。
王清马跃李春玲李晓娜董闯
关键词:粒子形貌
三元β-Ti-Mo-Zr(Sn)合金析出相对弹性模量和力学性能的影响被引量:2
2013年
研究了低弹性模量β-Ti合金[MoTi14]Zr1Ti78.2Mo11.2Zr10.6和[SnTi14]Mo1Ti75.7Mo10.9Sn13.4中第二相析出对弹性模量和力学性能的影响及其拉伸过程中合金组成相的变化.利用Cu模吸铸快冷技术制备了直径6 mm的合金棒,并采用XRD和TEM分析合金拉伸前后的相析出行为及组织.结果表明,在β基体上只有少量α″的析出使得[SnTi14]Mo1合金具有较低的弹性模量(70 GPa),而ω相的存在使得[MoTi14]Zr1合金的弹性模量略高(80 GPa);且[SnTi14]Mo1合金中较细的薄片状β孪晶组织使得合金具有优良的力学性能.在拉伸过程中,[MoTi14]Zr1合金中应力诱发的马氏体含量增加,而在[SnTi14]Mo1合金中β基体晶粒易于发生扭转,从而合金塑性提高.
李群王清李晓娜高晓霞董闯
关键词:相析出
GaN在Si(001)上的ECR等离子体增强MOCVD直接生长研究(英文)被引量:1
2002年
研究了用电子回旋共振 (ECR)等离子体增强金属有机物化学气相沉积 (PEMOCVD)技术在 Si(0 0 1)衬底上 ,低温 (6 2 0~ 72 0℃ )下 Ga N薄膜的直接外延生长及晶相结构 .高分辨透射电镜 (HRTEM)和 X射线衍射 (XRD)结果表明 :在 Si(0 0 1)衬底上外延出了高度 c轴取向纤锌矿结构的 Ga N膜 ,但在 Ga N/ Si(0 0 1)界面处自然形成了一层非晶层 ,其两个表面平坦而陡峭 ,厚度均匀 (≈ 2 nm) .分析认为 ,在初始成核阶段 N与 Si之间反应所产生的这层 Six Ny非晶层使 Ga N的 β相没有形成 .XRD和原子力显微镜 (AFM)结果表明 ,衬底表面的原位氢等离子体清洗 ,Ga N初始成核及后续生长条件对 Ga
徐茵顾彪秦福文李晓娜王三胜
关键词:GANSI(001)ECR电子回旋共振金属有机物化学气相沉积晶相结构
一种非晶铁硅锂离子电池负极材料及其制备方法与应用
一种非晶铁硅薄膜锂离子电池负极材料及其制备方法与应用,属于锂离子电池负极材料技术领域。该负极材料是一种非晶铁硅薄膜,具有如下成分通式:Fe<Sub>x</Sub>Si<Sub>(100‑x)</Sub>,0<x≤29(x...
李晓娜刘誉博郑月红黄昊董闯
文献传递
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