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仓路

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇隧道结
  • 1篇溅射
  • 1篇NB
  • 1篇超导
  • 1篇超导隧道结
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇NBN

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇赵少奇
  • 1篇吉争鸣
  • 1篇刘希
  • 1篇孙静
  • 1篇仓路
  • 1篇康琳
  • 1篇吴培亨

传媒

  • 1篇第九届全国超...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
NbN/AlN/NbN超导隧道结的制备工艺
研究了在MgO基片上制备NbN/AlN/NbN结的工艺,NbN和AlN的制备分别采用直流磁控溅射和交流磁控溅射.为了得到良好特性的隧道结,我们首先要在高真空反应室里沉积三层膜结构,经过光刻和反应离子刻蚀,得到底电极和桥区...
刘希康琳孙静赵少奇仓路吉争鸣吴培亨
关键词：超导隧道结隧道结磁控溅射
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