刘永武
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：上海市青年科技启明星计划上海市科委纳米专项基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信电气工程理学更多>>
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
- 本文对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究.从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解.研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化.研究发现,气体...
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
- 文献传递
- 静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器
- 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外...
- 于茂华王小静刘永武高嵘谢明春张敏亮王国亮
- 文献传递
- 静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器
- 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外...
- 于茂华王小静刘永武高嵘谢明春张敏亮王国亮
- 文献传递
- 横向振动微谐振器的仿真分析被引量：5
- 2006年
- 通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响。在谐响应仿真分析中得到微谐振器的幅频响应特性,从而导出微谐振器的品质因子Q值。
- 王敏王小静刘永武陈晓阳
- 关键词：微谐振器有限元法仿真
- 大型汽轮发电机专用轴承综合性能研究开发应用
- 王小静顾越张直明张恂芳刘永武徐刚锋王敏姚金传
- 该项目针对汽轮发电机用径向滑动轴承，在流体动压润滑理论的基础上进行汽轮发电机专用径向滑动轴承综合性能分析研究，计入了实际工况运行中热效应和紊流流场的作用，在坚实理论研究基础上开发研制了能用于工程实际的轴承综合性能分析手段...
- 关键词：
- 关键词：大型汽轮发电机综合性能径向滑动轴承
- 空气阻尼对横向振动微谐振器的影响
- 本文在一维动力学模型的基础上,对横向振动微谐振器的振动性能进行了研究,并对计入空气阻尼和未计入空气阻尼两种情况进行了比较,在对空气阻尼的计算中,计入了稀薄气体效应.研究发现在低频驱动下,两种计算模型振动幅度非常接近,但是...
- 王敏刘永武王小静陈晓阳
- 关键词：微谐振器动力学谐振频率
- 文献传递
- MEMS刮板式微致动器的运动机理及测试研究
- 纳米级驱动是纳米测控系统中急需解决的关键问题。纳米级驱动在纳米仪器设备和纳米加工设备中有着广泛的应用，如扫描探针驱动和样品进给、大规模集成电路制造中的多层压印套刻及分布压印对准技术等等，在很多相关学科领域如生物医学、航空...
- 刘永武
- 关键词：力学模型SDAMEMS
- 文献传递
- 空气阻尼对横向振动微谐振器的影响
- 在一维动力学模型的基础上,对横向振动微谐振器的振动性能进行了研究,并对计入空气阻尼和未计入空气阻尼两种情况进行了比较,在对空气阻尼的计算中,计入了稀薄气体效应。研究发现在低频驱动下,两种计算模型振动幅度非常接近,但是在驱...
- 王敏刘永武王小静陈晓阳
- 关键词：动力学微谐振器谐振频率
- 文献传递
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄...
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
- 文献传递
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究被引量：3
- 2005年
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响。微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度。谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应。
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
