巩娟
- 作品数：8 被引量：47H指数：3
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 运动偏心对圆光栅副测量的影响及误差补偿被引量：28
- 2005年
- 研究了一种由长光栅演变而来的新型圆光栅副存在运动偏心时的正常工作条件和由运动偏心所造成测量误差的补偿方法。阐述了该圆光栅的组成结构和工作原理;推导了其莫尔条纹曲线的表达式;着重研究了运动偏心对圆光栅测量影响的分析方法,即莫尔条纹随运动偏心变化的定量分析方法;推导了由于偏心引起的测量误差的补偿公式;通过实例分析证明,对精密测量圆光栅进行偏心误差补偿是十分必要的。研究结果表明,偏心较小时,由于不影响系统正常工作,因此会掩盖这种误差的存在,通过理论分析及补偿可确保这种新型圆光栅的测量精度。
- 郭阳宽李玉和李庆祥巩娟陈张玮
- 关键词：运动偏心误差补偿
- 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台
- 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台属于运动伺服技术领域，其特征在于：它以多传感器与高精密减速器配合实现系统的高精度超低速控制，即利用成对使用的高精度角位移传感器构成互补式测量组件，实现了系统的高精度实时运动参数及系统变...
- 李庆祥郭阳宽李玉和巩娟陈张玮杨再华
- 文献传递
- 基于SMA的微夹持系统实验研究被引量：1
- 2005年
- 微夹持技术是微器件装配的关键技术之一。采用柔性铰链机构设计了三自由度微夹持操作平台,并进行了有限元仿真模拟分析;利用形状记忆合金原理进行设计并研制了环状微夹钳,通过形状训练达到了双程形状记忆效应,并建立了微夹持力计算模型;对微夹持系统的运动精度进行了试验分析,结果表明该系统沿X,Y,Z方向的位移分辨率达0.01μm,微夹持钳最大张开量达0.2mm,基本满足了系统性能要求。
- 巩娟李玉和石志松李庆祥
- 关键词：形状记忆合金微机电系统微装配SMA
- 一种用于微器件装配的系统设计与研制被引量：10
- 2006年
- 首先概述了国内外微装配系统的研究现状,在分析微装配系统的特点和功能需求基础上,提出一种基于计算机视觉伺服控制的微装配系统设计方案,详细描述了系统中精密三维微定位工作台、SMA微夹持作业工具以及视觉伺服控制系统等关键技术的解决方案,并以直径为几百微米级的典型微轴孔的装配为目标开展各项关键技术的试验研究。
- 段瑞玲李玉和李庆祥巩娟
- 关键词：MEMS微装配视觉控制
- 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台
- 高精度超低速双轴伺服测试用的测试转台属于运动伺服技术领域，其特征在于：它以多传感器与高精密减速器配合实现系统的高精度超低速控制，即利用成对使用的高精度角位移传感器构成互补式测量组件，实现了系统的高精度实时运动参数及系统变...
- 李庆祥郭阳宽李玉和巩娟陈张玮杨再华
- 文献传递
- 精密工作台的设计与实验研究被引量：6
- 2005年
- 微器件装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统(MEMS)的关键技术之一,精密工作台系统则是微装配系统的一个重要组成部分。精密工作台系统包括粗动工作台和微动工作台:粗动工作台包括精密机械及其传动系统、光栅定位系统、直流力矩电机驱动系统及计算机控制系统;微动工作台包括微动台、压电陶瓷驱动电源和电感测微移。实验结果表明,粗动台系统的最高速度为5mm/s,最低速度为3.4μm/s,系统的重复定位精度为±1μm;微动台系统的定位精度可达到±1μm。
- 巩娟李庆祥李玉和
- 关键词：微装配微动工作台
- 微动台与微夹持器的设计与实验研究
- 巩娟
- 关键词：微动台柔性铰链压电陶瓷形状记忆合金
- 新型三维微动台的设计与试验分析被引量：2
- 2005年
- 研究设计一种新型的、以压电陶瓷为驱动器的三维微动台结构。该微动台以柔性铰链为弹性导轨实现了微定位。 分析所采用的直圆柔性铰链的参数变化对其造成的性能影响;提出一种新型柔性铰链结构,利用有限元分析软件AN SYS对这种新型结构进行理论分析和试验测试。试验表明:采用这种柔性铰链结构的微动台刚度比较小、运动耦合误差 小,定位精度优于±0.01μm。
- 巩娟李庆祥李玉和
- 关键词：微动台柔性铰链压电陶瓷
