张翊
- 作品数：10 被引量：1H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析被引量：1
- 2008年
- 建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中。运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况。基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄膜体声波谐振器性能的提高。
- 张翊包达群郭航
- 关键词：薄膜体声波谐振器结构参数优化
- 氧化锌压电薄膜的生长与表征
- 本文通过实验研究用磁控溅射技术生长的ZnO压电薄膜，运用XRD和SEM来测试ZnO薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量，比较了Si、覆盖在Si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底和退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的...
- 孙宏明张翊郭航
- 关键词：磁控溅射压电薄膜氧化锌退火处理压电器件
- 文献传递
- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
- FDI、异质性与劳动收入份额
- 本文通过一个异质性企业的理论模型刻画和描述外资企业的进入对本土和外资企业劳动收入份额的影响机理，并提出了理论假说。随着FDI的不断流入本土企业的劳动收入份额会因为选择效应会降低，而FDI流入对外资企业的劳动收入份额的影响...
- 张翊
- 微型体声波振荡器的噪声分析
- 压电振荡器已广泛应用于通信、导航、雷达、精密仪器仪表与测试设备中。在航天、航空等恶劣环境中,对压电振荡器的可靠性、相位噪声、体积等提出了更高的要求。随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,具有体积小、可靠性高、温度特性...
- 张翊孙宏明包达群郭航
- 文献传递
- 碳纳米管声学特性的研究
- 碳纳米管具有良好的机械和电学特性、且体积小,重量轻,可以集成到微纳机械电子系统中,近年来,国内外的研究者们已开展了基于碳纳米管的微纳传感器的研究工作。充分了解和把握碳纳米管的特性,是应用碳纳米管作为纳米敏感元件的重要前提...
- 张翊郭航
- 文献传递
- 锆钛酸铅(PZT)薄膜的生长与表征
- 锆钛酸铅(PZT)材料是一种具有高机电系数、高介电常数和高剩余极化强度。的功能材料，具有优异的介电、压电、铁电性能和光学特性。由于基于PZT的器件具有工作带宽广、反应速度快和灵敏性高等优点，因此PZT薄膜可以用于MEMS...
- 包达群张翊潘峰郭航
- 关键词：锆钛酸铅微结构
- 文献传递
- 利用微制造超声装置进行微粒分离
- 本文提出了一种新的基于芯片的用于分离微纳米级颗粒的MEMS超声分离装置。在这种装置中，采用MEMS技术在硅基上制造出氮化硅薄膜结构，将一对PZT-4薄片粘结在硅基上作为驱动器。由于能量耦合效应，在PZT-4的驱动下，氮化...
- 杨慧孙宏明张翊郭航
- 关键词：有限元方法氮化硅
- 文献传递
- 碳纳米管声学桥的分析
- 2008年
- 首先阐述了碳纳米管声学桥的这一新概念,即通过共振超声谱方法测量置放在两个微型压电换能器之间的碳纳米管的多个固有频率,确定其物理特性。作为碳纳米管声学桥的理论基础,文中应用解析方法和有限元数值方法分析了碳纳米管声学桥的声波传播特性,重点研究了碳纳米管声学桥结构尺寸与振动模式的品质因数之间的关系。在此基础上,探讨了声学桥的三个潜在应用场合:作为研究碳纳米管材料特性的有力工具;碳纳米管声学桥对微小质量变化具有10-220g/Hz的灵敏度,可作为高精度质量敏感元件;碳纳米管声学桥在周围环境真空压力改变时,谐振频率会变化,通过测量频移来确定真空压力,故碳纳米管声学桥可作为超高真空传感器。
- 张翊郭航
- 关键词：碳纳米管声波传播
- 磁控溅射ZnO压电薄膜的生长与表征
- ZnO薄膜作为半导体材料被广泛应用于光电领域,作为压电薄膜ZnO具备很高的机电耦合系数,因此在MEMS即微机电领域有着广泛的应用。目前,国内对于ZnO薄膜作为光电材料的生长技术与表征都作了大量的研究,但对于ZnO作为压电...
- 孙宏明张翊郭航
- 文献传递
