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一种微型直接甲醇燃料电池的制作与测试: 2012年; 微型直接甲醇燃料电池(micro direct methanol fuel cell,μ-DMFC)具有发电效率高、环境污染少、安全、携带方便等优点,在小型民用电源和单兵携带电源上具有广泛的应用.讨论了微型直接甲醇燃料电池(micro direct methanol fuelcell,μ-DMFC)的特点,研究了运用微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)工艺,设计并且制作μ-DMFC的过程.主要是运用MEMS工艺制作μ-DMFC的流场板;制备膜电极(membrane electrode assembly,MEA);通过改进μ-DMFC的封装结构,采用聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)和金属夹具对μ-DMFC进行封装,有效地避免甲醇的渗漏;并且通过测试μ-DMFC的I-V特性,比较了不同封装结构下,μ-DMFC的电性能.实验结果表明,封装结构改进后的μ-DMFC,最大电流密度为14.82mA/cm2,最大输出功率为0.661mW.; 曾毅波刘俊陈观生郭航; 关键词：微机电系统微型直接甲醇燃料电池封装

图形化静电纺丝PZT纳米纤维的研究: 近年来纳米纤维作为新型材料受到重视,在许多领域的应用研究也取得了进展。静电纺丝被证明是一种有效的纳米纤维制备方法,目前有许多关于应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维的研究报道,但在制备有序与定向排列的纳米纤维上仍有较大缺陷与...; 裴强郭建来陶也郭航; 关键词：静电纺丝图形化; 文献传递

用于化学机械抛光圆片级超薄硅片的临时黏合方法: 用于化学机械抛光圆片级超薄硅片的临时黏合方法，涉及半导体工艺和微制造领域。在承载片上加工出比超薄硅片外径略大三段等径同心圆弧槽，并开设三段溢流槽，溢流槽与圆弧槽相连；采用旋涂的方法，把黏胶涂覆于圆弧槽底，用于圆弧槽定位和...; 曾毅波郭航; 文献传递

氧化锌压电薄膜的生长与表征: 本文通过实验研究用磁控溅射技术生长的ZnO压电薄膜，运用XRD和SEM来测试ZnO薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量，比较了Si、覆盖在Si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底和退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的...; 孙宏明张翊郭航; 关键词：磁控溅射压电薄膜氧化锌退火处理压电器件; 文献传递

锆钛酸铅薄膜的生长与表征: 2013年; 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。; 张翊潘峰包达群王建艳郭航; 关键词：退火溶胶凝胶法

压阻式压力传感器中的信号调整: 文中介绍了Maxim公司的信号调整集成电路芯片MAX1450的引脚含义,功能特点及工作原理。设计和制作了外围补偿电路,对已有的微型压阻式压力传感器进行测试,分析它的信号特性与温度特性,采用了MAX1450信号调理器将微型...; 滕建财陈聪鹏郭航; 关键词：压阻式压力传感器集成电路芯片信号特性温度补偿; 文献传递

基于MEMS技术的微小型直接甲酸燃料电池的制备方法: 基于MEMS技术的微小型直接甲酸燃料电池的制备方法，涉及直接甲酸燃料电池。采用微加工技术在硅片上制作出蛇形凸起微流道和正方形凸台阵列；将加工后的硅片装配在模具中，注入PDMS胶液，将铜箔嵌入未固化的PDMS材料中，固化后...; 郭航王婷婷曾毅波陈观生; 文献传递

一种大面积强疏水柔性薄膜的制备方法: 一种大面积强疏水柔性薄膜的制备方法，涉及强疏水柔性薄膜。采用微加工方法在硅片上制备出微通道阵列；将带有微沟道阵列的硅片装配到模具底板中；在硅片表面喷上脱模剂和PVDF乳液，然后倒入PDMS胶液，抽真空并预固化；在设定温度...; 郭航曾毅波王婷婷武晓林; 文献传递

一种芯片式铷滤光泡: 一种芯片式铷滤光泡，涉及一种滤光装置，尤其是涉及一种主要适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的滤除特定谱线的芯片式铷滤光泡。提供一种不仅体积较小、功耗较低，而且可有效滤除不需要的谱线，减小所需要...; 郭航王盛贵林立伟; 文献传递

GaN肖特基结型核电池及其制备方法: GaN肖特基结型核电池及其制备方法，涉及核电池。核电池从下至上依次包括蓝宝石衬底层、GaN缓冲层、n+GaN层、n‑GaN层、肖特基金属层、SiO<Sub>2</Sub>保护层、欧姆接触层和放射性同位素层。在蓝宝石衬底上...; 郭航戴昌鸿笪凯吴凯; 文献传递

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