郭艳艳 作品数:8 被引量:19 H指数:3 供职机构: 西安电子科技大学理学院 更多>> 发文基金: 陕西省自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 更多>>
圆片表面薄膜应力传感器设计 被引量:5 2004年 为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力。介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。 林晓春 郭艳艳 向健勇 郑亚娥关键词:薄膜应力 全闭环控制 多模型预处理和关联度融合检测红外目 被引量:4 2004年 基于对红外检测系统及识别方法的详细分析,研究了用于红外目标检测的算法多模型数据融合技术,设计了一种新的基于灰色关联度数据融合模型。该方法将多种目标检测算法结合起来,利用有限的预处理目标信息,依托 n 维空间中目标函数曲线之间的灰色空间距离关系来判断目标之间发展过程的相近性和相似性;从关联度分析出发,实现数据融合及红外目标的检测。该方法可以有效的提高红外目标的检测概率、降低虚警率和漏警率。它是以增加检测系统硬件复杂程度为代价,换取红外图像实时检测的可靠性和可信性的。 林晓春 郭艳艳 王艳 李存志 张颖关键词:红外目标 红外图像 测算法 数据融合 虚警率 色空间 新型实用的电子磁罗盘设计 被引量:2 2008年 为提高罗盘精度,降低成本,携带方便,设计了一种新型实用的电子磁罗盘.当磁性材料趋于磁饱和后,电感自感系数与磁场强度成反比,在RL振荡电路中,振荡频率与自感系数成反比,所以振荡频率与磁场强度成正比.根据单片机测出RL振荡电路的频率,确定磁方位角.在液晶屏幕上显示实际测量角度值.用RL振荡电路正反充放电的方法消除了仪器本身引起的误差,并且用软件校正各种外界因素引起的误差.该罗盘用数字信号处理技术,抗干扰能力强,精度高,可靠性好.实际测试结果表明该仪器测量的数据误差小于1°,满足了实际应用的要求. 马万明 李存志 林晓春 郭艳艳关键词:地磁场 单片机 磁传感器 振荡频率 一种基于数据融合方法的高可靠性的图像信号处理系统 被引量:2 2004年 介绍了基于数据融合方法的高可靠性红外图像信号处理系统,分析了检测算法、阈值因子、检测概率和虚警率之间的关系,对比讨论了提高图像检测可靠性的两种方法,设计了基于算法多模型数据融合(Arithmetic -Multi-Model-Data-Fusion-Method,AMMDFM)的新方案。依据该方案所设计的系统,原理上保证了具有实时多目标处理能力,并且检测概率和虚警率指标大大优于以往常规硬件系统。可以在离线和在线两种方式下工作,方便了系统的调试,系统性能稳定,功耗低,体积小,集成度高,适用于安装在导弹等武器平台上作末制导寻的导引头。该方法是以增加系统硬件复杂程度为代价换取对红外图像目标检测可靠性的。 林晓春 李存志 郭艳艳 王艳 周蕾关键词:虚警率 高可靠性 红外图像 图像信号处理 信号处理系统 若干特殊函数在T矩阵求解散射场时的编程实现 被引量:1 2004年 本文介绍用T矩阵方法来计算表面缺陷散射场时所用到的几个特殊函数的计算机数值编程方法。主要是球贝塞耳函数的算法、球汉克函数的算法、函数dn0m(θ)的算法和T矩阵的算法。所用编程语言为Delphi6.0。 林晓春 向健勇 郭艳艳 葛启东关键词:T矩阵 基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器 被引量:6 2004年 介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像 ,利用 Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器 .传感器是以二维 Damm ann光栅和 Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的 .该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量 ,灵敏度优于 2 .5× 10 6 Pa,精度优于 4 .2 7% .它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点 .与计算机自动控制系统相结合 。 林晓春 郭艳艳 胡志敏 李存志 郑亚娥 安毓英关键词:薄膜应力 圆桶中粒子的运动 被引量:1 2005年 简要介绍了圆形无限深势阱中粒子的波函数、概率分布等特性,以及量子围栏中粒子的运动. 任保文 郭艳艳关键词:波函数 一种半导体表面上微粒缺陷散射场的计算方法 2004年 本文通过分析半导体表面上微粒缺陷散射场的光波传播规律,建立了表面上微粒缺陷场的传输模型和数学模型,使定量计算表面上微粒缺陷的散射场成为可能。进一步将入射场和散射场都表达成球矢量波函数的形式,并考虑表面的二次散射作用,用T矩阵将入射场和散射场的展开项系数连系起来。从而得到散射场与入射场之间的一系列定量表达式,并给出计算结果。 郭艳艳 李存志 林晓春关键词:光散射 T矩阵