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郑亚娥

作品数：3 被引量：9H指数：2
供职机构：西安电子科技大学理学院应用物理系更多>>
发文基金：陕西省自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇感器
  • 2篇薄膜应力
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇单自由度
  • 1篇圆片
  • 1篇全闭环
  • 1篇全闭环控制
  • 1篇周期
  • 1篇级数
  • 1篇级数展开
  • 1篇计算方法
  • 1篇闭环
  • 1篇闭环控制
  • 1篇传感器设计

机构

  • 3篇西安电子科技...

作者

  • 3篇郑亚娥
  • 2篇郭艳艳
  • 2篇林晓春
  • 1篇李存志
  • 1篇安毓英
  • 1篇向健勇
  • 1篇胡志敏
  • 1篇任保文

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇大学物理
  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2005
  • 2篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
圆片表面薄膜应力传感器设计被引量：5
2004年
　为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力。介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。
林晓春郭艳艳向健勇郑亚娥
关键词：薄膜应力全闭环控制
单自由度非线性保守系统作大振幅振动时周期的计算方法
2005年
简要介绍了单自由度非线性保守系统作大振幅振动时周期的计算方法,并给出了几个常见典型振动问题的周期公式.
任保文郑亚娥
关键词：级数展开
基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器被引量：6
2004年
介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像 ,利用 Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器 .传感器是以二维 Damm ann光栅和 Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的 .该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量 ,灵敏度优于 2 .5× 10 6 Pa,精度优于 4 .2 7% .它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点 .与计算机自动控制系统相结合 。
林晓春郭艳艳胡志敏李存志郑亚娥安毓英
关键词：薄膜应力
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