胡志敏
- 作品数：5 被引量：16H指数：2
- 供职机构：西安电子科技大学技术物理学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- T矩阵的编程实现
- 2005年
- T矩阵方法被广泛地应用于粒子的光散射计算中。在计算T矩阵的程序中,绝大部分都是通过FORTRAN语言实现的。本文通过目前最通用的计算机语言C + +来实现T矩阵,同时提出了实现过程中应注意的问题。
- 严绍辉胡志敏林晓春
- 关键词：T矩阵光散射C++编程实现
- 半导体薄膜特性实时检测的新装置
- 2005年
- 利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置。通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息。通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应力的灵敏度优于5MPa,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。
- 胡志敏林晓春安毓英
- 关键词：实时检测光电检测电路薄膜应力
- 半导体薄膜特性实时检测技术的研究
- 在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制.国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技术,国外的检测设备一般也仅检测个别量.本文在研究国内...
- 胡志敏
- 文献传递
- 基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器被引量：6
- 2004年
- 介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像 ,利用 Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器 .传感器是以二维 Damm ann光栅和 Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的 .该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量 ,灵敏度优于 2 .5× 10 6 Pa,精度优于 4 .2 7% .它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点 .与计算机自动控制系统相结合 。
- 林晓春郭艳艳胡志敏李存志郑亚娥安毓英
- 关键词：薄膜应力
- 功率稳定可调LD驱动电路的设计被引量：11
- 2004年
- 功率稳定可调的激光二极管(LD)在精密光电检测和光纤通信系统中应用广泛。介绍了:一种单片机控制激光二极管输出功率的方法,针对SANYO30mW红光LD设计了驱动电路,其驱动电流在0～100mA之间可调,最小可调量<0.01mA。单片机片内对监测电流偏差进行了PID调节运算,使激光二极管输出功率稳定。
- 胡志敏林晓春严绍辉安毓英
- 关键词：LD激光二极管光纤通信系统SANYO驱动电流PID调节
