吝海锋
- 作品数：14 被引量：34H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国防基金国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 电容式加速度传感器结构的计算机仿真被引量：6
- 2002年
- 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,1g加速度下的挠度,以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率,得到了最优的双梁结构,并在试验中得到验证,最终研制出了高水平的电容式加速度传感器。
- 吝海锋杨拥军郑锋
- 关键词：加速度传感器有限元计算机仿真微机械
- 一种新型无源MEMS万向碰撞开关被引量：10
- 2009年
- 采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术,开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关。开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构,对惯性加速度计敏感,以碰撞接触的形式提供导通电阻信号,并拥有500g径向360°和1000g纵向碰撞触发,单个器件可以实现多个器件的功能。经过仿真设计和工艺研究,最终完成了开关的制作,封装后体积后为6.6mm×5mm×2.4mm。经测试表明开关实现了初始的设计阈值,导通电阻约10Ω,导通时间约10μs,验证了抗5000g冲击能力,它具有体积小、重量轻、高可靠、低成本,可反复使用等特点,在可靠性跌落试验、汽车安全碰撞试验和飞行器上具有广泛的应用前景。
- 吝海锋何洪涛卞玉民杨拥军
- 关键词：微电子机械系统无源
- 微惯性测量单元橡胶减振器结构设计被引量：3
- 2018年
- 为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元（MIMU）的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素。通过构建有效的有限元模型分析MIMU减振结构的频率响应,并调整减振器内环、外环结构及减振橡胶的材料硬度等因素,设计得到了一种MIMU橡胶减振器结构。最终,通过对含减振结构的MIMU样机进行扫频振动实验,实验结果与预期设计结果一致。实验结果表明,该结构不仅减少了MIMU受内部和外部振动源的干扰,还实现了减振系统的三向等刚度。研究工作为MIMU橡胶减振器设计提供了有效可行的方法。
- 吝海锋沈超群杨拥军沈路王宁刘译允
- 关键词：有限元仿真橡胶减振器隔振
- MEMS惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
- 本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中湿法腐蚀的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于圆片上铝、金、铬、钦、氧化硅等薄膜湿法腐蚀以及硅各向异性湿法腐蚀(以下简称硅湿法腐蚀)的工艺。
- 胡小东任霄峰杨拥军胥超任倩婷苏日丽吝海锋肖咸盛
- MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的一种快捷评估方法
- 本文介绍了一种MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的快捷评估方法，可快速获得传感器的谐振频率和阻尼比等信息。该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比，结果显示，该方法具有操作简单、快速、系统搭建成本低并且具...
- 张旭辉卞玉民吝海锋
- 关键词：频率特性扫频测试阻尼比
- 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：MEMS加速度传感器
- 文献传递
- 硅MEMS惯性传感器的研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况。主要有已定型的±50g MEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 文献传递
- 第一部分:微机械惯性仪表研制与应用 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±50gMEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 文献传递
- MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量：1
- 2005年
- 探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.
- 吝海锋吕苗杨拥军师谦郑锋恩云飞
- 关键词：微电子机械系统电容式加速度计可靠性
- MEMS电容式加速度计可靠性研究
- 本文探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素...
- 吝海锋吕苗杨拥军师谦郑锋恩云飞
- 关键词：微电子机械系统电容式加速度计可靠性
- 文献传递
