徐爱东
- 作品数：32 被引量：43H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电气工程更多>>
- 一种空腔无引线塑料扁平封装
- 本实用新型公开了一种空腔无引线塑料扁平封装，属于半导体封装技术领域。该封装包括载体，载体上固定芯片，载体的周围均布有引脚，引脚之间以及引脚与载体之间填充有塑封体，引脚与芯片之间通过键合线连接，芯片的上方设置有盖板，盖板的...
- 徐爱东许鹏杨拥军
- 文献传递
- 用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法
- 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩...
- 李博杨拥军徐爱东卢新艳
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法被引量：2
- 2015年
- 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段。
- 张旭辉徐爱东卞玉民
- 关键词：压阻加速度传感器汽车碰撞阻尼比
- 物联网用MEMS传感器的发展趋势
- 本文简述了MEMS传感器的性能及机理，分析了传感器在物联网中的应用，并讨论了MEMS传感器的封装形式。无线传感器网络就是由部署在监测区域内大量的廉价微型MEMS传感器节点组成，通过无线通信方式形成的一个多跳的自组织的网络...
- 徐爱东
- 关键词：物联网封装形式
- 能够防止“液体桥”粘连的新型硅溶片工艺被引量：3
- 2002年
- 硅溶片工艺用于制造MEMS惯性传感器[1]。能够实现高深宽比、导电性好的微机械结构。我所采用这种工艺制造出多种MEMS器件,包括加速度计和陀螺等。但该工艺用于制造垂直动作结构如Z轴加速度计和开关时,成品率不高。主要失效原因是由于EPW腐蚀工艺、去离子水漂洗和释放工艺中出现“液体桥”而引起的粘连。本文提出一种新型硅溶片工艺来防止上述失效。结果证明可以提高成品率和一致性。
- 郭贺军徐爱东胡小东刘彦青吕苗
- 关键词：MEMS惯性传感器
- MEMS惯性器件的新进展及应用
- 阐述了惯性技术的发展历史,总结了MEMS惯性器件的最新发展现状,并列举出当前最高技术水平的MEMS惯性器件及其技术指标。同时,概括了MEMS惯性器件的应用领域,特别是在导航领域的应用现状。最后指出,随着新型MEMS惯性器...
- 徐爱东杨拥军卢新艳
- 关键词：微机电系统惯性器件惯性测量单元惯性导航
- 文献传递
- 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：MEMS加速度传感器
- 文献传递
- 硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计
- 本发明公开了一种硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件。它由玻璃衬底、差动电极、可动电极、可动电极引线、硅台阶、可动硅片、固定硅片、悬臂梁、硅片构成。本发明在玻璃衬底上...
- 何洪涛吝海峰徐爱东李海军乔彦宾杨拥军
- 文献传递
- 用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法
- 本发明公开了一种用于MEMS器件的在片测试系统及其测试方法，属于MEMS器件测试技术领域。该系统包括自动探针台、探卡、矩阵开关、测试模块及计算机，自动探针台上表面设有被测圆片，被测圆片与探卡连接，探卡与测试模块之间设有矩...
- 李博杨拥军徐爱东卢新艳
- 文献传递
