徐淑静
- 作品数：34 被引量：59H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划滨州市科技发展计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 三轴集成压阻式加速度传感器
- 本实用新型公开了一种三轴集成压阻式加速度传感器，包括分别测量X、Y、Z三个方向加速度信号的硅MEMS压阻式加速度传感器，其中测量平面内X向和Y向加速度信号的两个硅MEMS压阻式加速度传感器都是包括硅框架、质量块、悬臂梁、...
- 杨拥军徐淑静何洪涛
- 文献传递
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本实用新型公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
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- 新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究被引量：8
- 2008年
- 介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。分析了该器件的工作原理,设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2g,分辨率达到1mg,抗冲击能力达到10000g,具备了良好的性能。
- 吕树海杨拥军徐淑静徐爱东徐永青
- 关键词：微电子机械系统加速度传感器
- 一种硅MEMS压阻式加速度传感器
- 本发明公开了一种硅MEMS压阻式加速度传感器，它属于微机械传感器领域。本发明包括硅框架、质量块、扭转梁、敏感梁和压敏电阻，在质量块的左右两侧设置有互相对称的、和硅框架连接的敏感梁，敏感梁上表面的端部制作有压敏电阻；在质量...
- 杨拥军徐淑静吕树海
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- 微机械热对流倾角仪温度补偿技术研究被引量：4
- 2006年
- 介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计,利用有限元分析软件,计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果,在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路,建立了基于软件的环境温度补偿算法,实现了对温度影响的补偿。经测试,环境温度从-40℃变化到60℃时,倾角仪0°输入的温度稳定性为0.07°,10°输入的温度稳定性为0.02°。
- 王娟徐淑静徐爱东
- 关键词：微机电系统温度补偿
- 三轴热对流加速度传感器
- 本发明公开了一种三轴热对流加速度传感器，它属于微机械传感器领域。它包括内部设置有敏感元件的封闭腔体、加热器、温度传感器，加热器和三个轴向的温度传感器都设置在封闭腔体内，敏感元件为限定在封闭腔体内的气体，加热器位于封闭腔体...
- 杨拥军徐淑静吕树海
- 文献传递
- 一种集成式硅MEMS振动陀螺仪被引量：2
- 2013年
- 介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪。首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理;在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限元(FEM)仿真结果;加工工艺采用圆片级真空封装SOI工艺,介绍了工艺流程;检测电路采用数字化ASIC电路,给出了电路原理框图;采用LCC30陶瓷外壳实现了陀螺的集成封装。最后介绍了陀螺的研制结果和典型参数,陀螺量程达到±500°/s,零偏稳定性和重复性达到5°/h,标度因数非线性为1.5×10-4,重复性为5×10-5,重量仅为1.85 g,功耗为0.125 W,可满足大部分工程应用要求。
- 李博杨拥军徐永青徐淑静胥超何洪涛罗蓉卢新艳
- 关键词：陀螺仪SOI工艺集成封装
- MEMS电容式加速度计的动态特性分析被引量：5
- 2011年
- 针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移。通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻尼的计算公式。组成梳齿结构的两平行极板间的气体在极板运动时产生两种作用力:阻尼力和弹性力,运动频率较低时阻尼力为主要表现形式,高频时弹性力则占主要因素。针对一组特定的结构参数,对气体压强分别为100Pa和0.1MPa时微机械加速度计的频率响应特性进行了分析,当气体压强太小时,会造成系统带宽的降低,而当气体压强较高时,系统的动态特性表现良好,并在电容极板间隙约为3μm时,系统的动态特性达到最优。
- 徐淑静杨拥军
- 关键词：加速度计动态特性
- 一种MEMS集成器件及其制备方法
- 本发明提供一种MEMS集成器件及其制备方法。该器件包括第一重布线层、MEMS层和专用集成电路层；晶圆级低温硅硅键合连接MEMS层与专用集成电路层；MEMS层设有填充铜的第一通孔和第二通孔，第一通孔贯穿MEMS层，第二通孔...
- 罗蓉杨拥军何洪涛徐淑静任臣
- 文献传递
- 纳米尺度的微型温度传感器
- 本实用新型公开了一种纳米尺度的微型温度传感器，涉及传感器领域中的一种测量温度的传感器器件。它由硅腔体、下层氮化硅膜层、上层氮化硅膜层、粘附层、温敏电阻层、导电层、悬臂梁、二氧化硅膜层构成。它采用微机械加工工艺制作温敏电阻...
- 杨拥军徐淑静吕树海
- 文献传递
