李美萱
- 作品数：21 被引量：84H指数：5
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省教育厅科学技术研究项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信医药卫生更多>>
- 光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析被引量：4
- 2017年
- 在超大规模集成电路中,为了实现NA=1.35,波长193 nm处分辨率达到45 nm的目标,需要对影响光刻照明均匀性的误差源进行详细分析最终确定公差范围。复眼透镜是使光束在系统掩膜面上形成矩形均匀照明区域的关键元件。采用CODE V软件设计了复眼透镜对引起照明不均匀性的因素进行分析,结合复眼透镜组的设计方案和实际加工能力,给出X和Y向复眼曲率公差为±10%,后组曲率公差为±5%,前后组间隔公差为±50μm,位置精度偏心公差为±1μm,装配精度公差为±3μm。制定公差合理、可行,满足了浸没式光刻照明系统高均匀性、高能量利用率的要求。
- 李美萱王美娇王丽冷雁冰董连和
- 关键词：浸没式光刻分辨率光学设计公差分析
- 激光敌我识别系统中滤光膜的研制被引量：7
- 2012年
- 根据激光敌我识别系统的使用要求,选择H4和SiO2作为高低折射率材料,借助Macleod和TFCalc软件进行膜系优化设计和分析。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,利用基片的正反面分别对带通滤光片的长波反射带和短波反射带进行展宽,解决了单面膜层过厚难以控制的问题,制备了符合要求的激光滤光膜。镀膜后的基片在532,632,905,1064和1550nm波长处的透射率小于0.2%,808nm波长附近的平均透射率大于95%。并在532nm和1064nm波长处具有较高的激光损伤阈值,能承受恶劣的环境测试,满足激光敌我识别系统中光学仪器的使用要求。
- 杨永亮刘国军付秀华李美萱
- 关键词：激光损伤阈值离子辅助沉积
- 单模光纤端面激光减反射膜的研制
- 针对军用光学系统中对光源的特殊应用，在10μ m 的单模光纤端面上镀制抗激光损伤的减反射膜。通过选择合适的光学材料，利用TFC 软件设计膜系，调整最佳的工艺参数，采用热蒸发式真空镀膜机及RF 离子源辅助沉积的方法，成功的...
- 李美萱董连和
- 关键词：真空镀膜单模光纤减反射膜激光损伤
- 非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用被引量：2
- 2017年
- NA1.35浸没式光刻照明系统是超大规模集成电路的核心设备,为了实现从Ar F激光器发出的光束经过一系列模块传输后到达掩模面的能量满足光刻曝光系统的要求,需要在系统中引入非球面透镜,以减少镜片数量,提高能量利用率。为解决现在非球面透镜具有的加工难度和控制精度不足的缺陷,设计出一种优化控制保证非球面加工和检测的方法。在光学系统设计中优化非球面的形状,保证非球面度,满足非球面变化率在可加工和检测的范围内,并控制非球面拐点的产生。照明系统中镜片数量最多的模块是耦合镜组,通过非球面的优化,镜片数量从12片减少到9片,系统能量利用率提高近25%。此外,提高了系统像质NA一致性,像方远心度,弥散斑直径和畸变,满足了曝光光学系统对掩模面的能量要求,故该非球面控制技术具有良好的可加工性和可检测性。
- 李美萱王丽董连和赵迎
- 关键词：浸没式光刻照明系统非球面优化控制
- 采用新型混合材料的多波长激光减反射膜的研制被引量：14
- 2011年
- 针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,在蓝宝石基底上,制备了符合要求的宽带增透膜。镀膜后的蓝宝石基片在532、808、905、980和1064 nm波长处的透射率大于97%,中红外波段3~5μm的平均透射率大于92%。通过内保护层技术的引入,进一步提高了膜层的激光损伤阈值。该薄膜可以同时满足多个激光波长的使用要求,拓宽了其应用范围,降低了使用成本。
- 杨永亮付秀华刘国军李美萱杨道奇
- 关键词：减反射膜激光损伤阈值离子辅助沉积
- 穿戴式生理监测无线传感网络研究进展被引量：2
- 2017年
- 穿戴式生理监测系统包括一组嵌入到佩戴者织物中可以连续监视生理参数,并传送到无线远程监控站传感器的阵列。本文讨论了无线传感器网络及其在可穿戴式生理监测系统中的应用,并对传统的可穿戴式生理监测相关问题进行了讨论。
- 王美娇赵迎孙琪李美萱
- 关键词：无线传感器网络
- 浸没式光刻系统中光束传输系统的设计被引量：1
- 2018年
- 为实现浸没式光刻照明系统掩模面上高均匀照明性和不同照明模式,对照明系统中的光束传输系统进行了研究。浸没式光刻照明系统中的激光光束传输系统是光刻机中的重要组成部分,直接影响光刻机性能。针对浸没式光刻照明系统特点,提出了采用球面镜和柱面镜组合的光学结构,进行了激光准直扩束系统的光学设计与仿真分析。此外,对设计的准直扩束系统进行了公差分析,以保证在加工和装调完成后光束的发散角和口径均满足设计要求。最后,在系统完成的基础上对不同位置处的光斑尺寸进行测量。设计结果表明,系统能够满足光束在5～20 m传输光路范围内,不需要进行透镜间隔的调节,实现光斑大小和发散角满足设计要求,保证目标光束口径在(28. 5±0. 5) mm范围内,X方向发散角为1. 2 mrad,Y方向发散角为1. 84 mrad。通过分析发现,设计结果能够很好地满足指标的精度要求,具有重要的应用价值和实用意义。
- 李美萱阚晓婷阚晓婷王美娇
- 关键词：光学设计
- 1064nm光纤端面激光减反射膜的研制
- 在军用光学仪器中，针对导弹探测制导光源的特殊应用，通过对材料的选择、膜系的设计和工艺参数的优化，采用电子束真空镀膜及离子辅助沉积的方法，成功的在光纤端面50μm的口径上镀制减反射膜。研究了膜层的应力匹配和低温镀膜时膜层的...
- 李美萱
- 关键词：光学薄膜真空镀膜离子辅助沉积军用光学仪器
- 文献传递
- 浸没式光刻照明系统中非球面变焦系统设计被引量：1
- 2018年
- 设计了一种非球面变焦光学系统,解决了NA 1.35浸没式光刻照明技术中内外相干因子调节、能量利用率不足、模块使用寿命短的问题,所设计的非球面变焦系统包括三个镜组、光阑面和像面.系统入瞳直径42mm,视场角1.89°,实现焦距范围700mm^1 830mm,变倍比2.61,共使用七片透镜,并在三个凹面表面采用了非球面设计.设计结果表明,该系统成像质量优良,点列图均方根直径均小于40μm,畸变均小于0.5%,设计结果满足浸没式光刻照明系统的使用要求.
- 李美萱王丽董连和
- 关键词：光学设计非球面浸没式光刻照明系统
- 可见与近红外多波段激光高反膜的制备
- 2011年
- 针对军用光学仪器对光谱波段和入射角度的需要，采用电子束加热蒸发的设备，镀制多波段激光高反射膜，实现了在爱9玻璃上，当光线0。角入射时，532nm波长范围内平均反射率高于90％，在±45°角入射条件下近红外波段1064nm处的反射率高于99％，能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试，完全满足光学仪器的使用要求。
- 李美萱曲彬
- 关键词：光学特性
