赵灵
- 作品数:7 被引量:8H指数:1
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:理学机械工程医药卫生更多>>
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法,涉及光学材料,解决测试光学元件的使用寿命时,存在的耗费时间长,且浪费人力物力等问题,同时采用加速实验方法时无法确定加速比的问题,本发明方法将材料加工成符合激光量热吸收测试所...
- 张立超赵灵才玺坤武潇野时光梅林贺健康隋永新杨怀江
- 文献传递
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法,涉及光学材料,解决测试光学元件的使用寿命时,存在的耗费时间长,且浪费人力物力等问题,同时采用加速实验方法时无法确定加速比的问题,本发明方法将材料加工成符合激光量热吸收测试所...
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- 一种光度计变角度测试夹具
- 本发明一种光度计变角度测试夹具,属于光谱测量领域,解决了现有技术中测量不准确、误差大的技术问题;本发明包括支撑机构和两个相同的样品夹持机构,所述支撑机构包括连接单元和角度转换单元,所述连接单元包括一个U形槽和三个通孔,连...
- 时光张立超梅林武潇野才玺坤赵灵贺健康隋永新杨怀江
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- 一种清洗和镀膜为一体的夹具
- 一种清洗和镀膜为一体的夹具,属于光学镀膜技术领域,解决了现有技术中在清洗和镀膜的过程中造成元件污染和崩边的技术问题;包括镜座S1、镜座S2、连接构件、清洗支撑构件和固定构件;镜座S1和镜座S2为圆环形,在镜座S1和镜座S...
- 谷勇强时光张立超梅林武潇野才玺坤赵灵贺健康隋永新杨怀江
- 一种清洗和镀膜为一体的夹具
- 一种清洗和镀膜为一体的夹具,属于光学镀膜技术领域,解决了现有技术中在清洗和镀膜的过程中造成元件污染和崩边的技术问题;包括镜座S1、镜座S2、连接构件、清洗支撑构件和固定构件;镜座S1和镜座S2为圆环形,在镜座S1和镜座S...
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- 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收被引量:8
- 2014年
- 为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激光量热法测量应用于波长193nm紫外光刻系统的氟化物薄膜材料吸收率的方法,并进行了实际测量。根据所建立的测量方法,获得熔石英基底材料在193nm紫外光照射下的剂量效应及出现不可恢复吸收现象时相应的激光能量密度,进而测量出基底材料吸收率与激光能量密度之间的关系;通过热蒸发对基底镀氟化镁及氟化镧单层膜,测量镀膜后样品的吸收率与激光能量密度的关系,通过与镀膜前吸收率的对比,计算了两种薄膜材料吸收率与激光能量密度的关系,推算出薄膜材料在实际工作状态时的吸收率,并得到不同沉积温度下氟化镧薄膜材料吸收率、粗糙度与波纹度。实验结果证实了新提出测量方法的可行性,测量结果为改善系统成像质量以及延长元件使用寿命提供支持。
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- 一种光度计变角度测试夹具
- 本发明一种光度计变角度测试夹具,属于光谱测量领域,解决了现有技术中测量不准确、误差大的技术问题;本发明包括支撑机构和两个相同的样品夹持机构,所述支撑机构包括连接单元和角度转换单元,所述连接单元包括一个U形槽和三个通孔,连...
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