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张岭
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
上海第二工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
袁一方
上海第二工业大学
陈林
上海第二工业大学
张岭
上海理工大学
韩莹
上海第二工业大学
邱绍峰
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2001
1篇
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氮化铝光波导的特性研究
被引量:3
1998年
氮化铝(AIN)是一种重要的近紫外、蓝光半导体材料。它具有优良的物理特性。本文介绍了用MOCVD制作的氮化铝波导的物理特性,尤其对氮化铝光波导薄膜的光学特性进行了深入的研究,用波导测试的方法获得了其折射率的精确实验数据。
陈林
袁一方
张岭
关键词:
氮化铝
半导体
物理特性
光学特性
氮化铝半导体薄膜的光学特性研究
陈林
袁一方
杨永才
夏翔
邱绍峰
韩莹
张岭
简要技术说明:氮化铝和氮化镓、氮化铟等都属于宽禁带的Ⅲ-Ⅴ族化合半导体。AlN为直接带隙,禁带宽度(Eg)为6.2eV,是目前Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体中禁带宽度最大的材料,具有六角纤锌矿晶体结构。近年来的研究表明,以上这些材...
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氮化铝
光学特性
半导体薄膜
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