李兰
- 作品数：18 被引量：64H指数：4
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教委基金资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术政治法律文化科学更多>>
- Si/Ti/Au/Si键合技术研究及其应用被引量：9
- 2004年
- 运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si在N2保护下及420℃左右,成功地实现了Au/Si共熔键合,成品率达到90%以上。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于Si/Si熔融键合过程中高温退火给微电子机械系统(MEMS)器件带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础,是此类结构MEMS器件的理想键合封装方法。
- 杨道虹徐晨李兰吴苗沈光地
- 关键词：微电子机械系统高温退火
- 基于Ajax和J2EE的报刊专用单管理系统的设计与实现
- 当前,随着Internet技术的发展和企业信息化水平的提高,企业级Web应用系统的开发正逐渐成为主流,而在J2EE平台下开发Web应用系统是实现企业信息化的主要解决方案。开源框架技术的发展为Web应用开发注入了新的活力。...
- 李兰
- 关键词：WEB应用系统架构设计交互性
- 微机械气体红外探测器的CFD模拟
- 2004年
- 概要地介绍了一种可工作于室温环境下的微型气体红外探测器,它基于气体吸收红外辐射后以无辐射去激励方式产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。为深入研究热效应所产生的微热信号对器件整体性能的控制和影响,建立了相应的流体力学(CFD)模型,通过数值分析方法,获得了气体物质微观行为随红外辐射源辐射特性的变化关系。
- 吴峻苗邹德恕高国李兰刘铮杨道虹
- 关键词：微机械
- 量子阱红外探测器掺杂阱中能级的计算被引量：2
- 2004年
- 量子阱中能级位置的确定是获得量子阱红外探测器其它设计参数的基础。为了提供足够的载流子跃迁,阱层一般为重掺杂层。重掺杂使半导体材料禁带宽度变窄,从而改变量子阱中能级的位置。通过对不同温度、量子阱区不同掺杂浓度条件下的量子阱材料PL谱进行测量,得出PL谱峰值波长对应的电子跃迁峰值能量,它与阱中基态能级的位置有关。分别计算了考虑和不考虑禁带变窄效应时的电子跃迁峰值能量,并与实验结果相比较,可以看出考虑禁带变窄效应时与实验结果相吻合,因此掺杂量子阱区能级的计算需要考虑禁带变窄效应,这样可以较为精确的得出阱中能级的位置。
- 王斌邓军邢艳辉李建军李兰沈光地
- 关键词：量子阱红外探测器重掺杂能级计算
- 用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制被引量：1
- 2005年
- 超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
- 董典红徐晨邹德恕李兰杨道虹张剑铭阳启明沈光地
- 关键词：各向异性腐蚀
- 新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制被引量：3
- 2003年
- 介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号。
- 刘铮李兰邹德恕杨道虹徐晨沈光地
- 关键词：微机械红外探测器非制冷
- 新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。还对各环节所遇到的问题和其相应的解决方法进行了详细地阐述。
- 杨道虹徐晨董典红李兰吴畯苗张建铭阳启明邹德恕沈光地
- 关键词：MEMS红外探测器键合光刻
- 新型室温工作微机械红外探测器
- 提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射...
- 李兰刘铮邹德恕沈光地
- 关键词：红外探测器微机械
- 文献传递
- 高校领导的条块流动基于北京地区高校领导流动的空缺链分析(1978-2018)
- 2021年
- 高校领导干部的选拔和任免问题一直被学界普遍关注。本文基于中国领导干部管理的基本规则,借用社会学家怀特提出的空缺链模型作为分析框架,收集了北京地区77所公立普通高校2546名正副校级领导1978—2018年的流动数据资料,通过空缺链模型和对数线性模型,分析部属和市属高校领导干部的流动(简称“条块流动”)状况,以及在高校系统内外流动的条块差异。研究发现,北京地区高校领导系统空缺链较短,说明北京地区高校领导系统较开放,与外部有较多干部交流;北京地区高校领导存在“条块分流”现象;不同时期的“条块分流”和体制内外流动具有不同特征。这主要缘于中国干部管理体制和高等教育管理体制变迁的影响。
- 李兰阎凤桥
- 关键词：高等教育管理体制干部管理体制
- 一种新型键合工艺的理论和实验研究被引量：2
- 2004年
- 为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强度测试和SEM观测,发现界面没有孔洞,说明键合质量达到了要求.拉力测试结果表明,其键合强度达到了10MPa,初步验证了该方法的可行性.
- 杨道红徐晨董典红李兰吴畯苗张剑铭阳启明金文贤邹德恕沈光地
- 关键词：微电子机械系统乙醇
