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郑英彬

作品数：40 被引量：73H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇期刊文章
  • 10篇专利
  • 5篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 24篇电子电信
  • 11篇机械工程
  • 3篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇理学

主题

  • 10篇滤波器
  • 10篇MEMS
  • 7篇键合
  • 6篇微电子
  • 6篇微电子机械
  • 6篇微电子机械系...
  • 6篇加速度
  • 6篇加速度计
  • 5篇太赫兹
  • 5篇赫兹
  • 4篇声表面波
  • 4篇微加速度计
  • 4篇芯片
  • 4篇刻蚀
  • 4篇叉指换能器
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇声表面波滤波...
  • 3篇式微
  • 3篇偏置

机构

  • 39篇中国工程物理...
  • 6篇电子科技大学
  • 5篇西南科技大学
  • 3篇中国工程物理...
  • 1篇西安理工大学
  • 1篇香港城市大学

作者

  • 40篇郑英彬
  • 11篇赵兴海
  • 10篇高杨
  • 7篇陈颖慧
  • 7篇施志贵
  • 6篇鲍景富
  • 6篇杜亦佳
  • 5篇武蕊
  • 5篇王旭光
  • 4篇吴嘉丽
  • 4篇唐彬
  • 4篇陈光焱
  • 3篇席仕伟
  • 3篇杨晴
  • 3篇柏鹭
  • 3篇赵龙
  • 3篇张慧
  • 3篇赵宝林
  • 3篇凌源
  • 3篇邓成

传媒

  • 11篇微纳电子技术
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇信息与电子工...
  • 2篇太赫兹科学与...
  • 1篇传感器技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇电子与信息学...
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇半导体光电
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇第八届中国微...
  • 1篇第九届全国抗...

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 5篇2013
  • 8篇2012
  • 8篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2002
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微惯性开关芯片及其制备方法
本发明提供了一种微惯性开关芯片及其制备方法。微惯性开关芯片包括玻璃封帽、硅管芯、硅框架和玻璃基底四部分，硅管芯为“平面矩形螺旋梁-方形质量块”微结构。在惯性加速度作用下，方形质量块向玻璃基底运动，当惯性加速度达到闭合阈值...
王超陈光焱吴嘉丽施志贵郑英彬武蕊
文献传递
MEMS技术在THz无源器件中的应用被引量：6
2011年
太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传统的机械加工技术很难达到加工精度要求,甚至无法加工。MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总结了目前采用DR IE,LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状,包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工。分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景。
赵兴海鲍景富杜亦佳高杨郑英彬
关键词：微机电系统LIGA深反应离子刻蚀
双框架解耦微陀螺原理样机研制
2010年
为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。
唐海林刘显学周浩郑英彬张茜梅施志贵吴嘉丽
关键词：微陀螺检测电路
四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关
本文基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和...
陈光焱郑英彬赵龙武蕊
关键词：惯性力双稳态MEMS悬臂梁
文献传递
叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析
电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷,该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力,研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静...
郑英彬许献国高杨
关键词：MEMSANSYS
文献传递
用于微齿轮制作的厚胶光刻工艺
采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提供了基本保障。
武蕊郑英彬袁明权
关键词：微齿轮光刻工艺
不同键合温度对低温硅-硅共晶键合的影响被引量：8
2013年
选取Ti/Au作为金属过渡层来实现低温硅-硅共晶键合。首先介绍了共晶键合的基本原理,分析了选择金-硅共晶键合的原因,设计了单面溅金、双面溅金以及不同温度下的硅-硅共晶键合实验。采用超声波显微镜对键合样品内部空洞缺陷进行了测试,采用测试设备Dage 4000Plus对键合样品的键合强度性能进行了测试,并对测试结果进行了分析讨论。不同温度测试结果表明,380℃为最佳的金-硅共晶键合温度;单、双面溅金测试结果表明,双面溅金键合工艺优于单面溅金键合工艺。较低温度下实现较高键合强度的硅-硅键合实验表明,金-硅共晶键合的工艺简单、键合温度低,且对工艺环境要求不高。
陈颖慧施志贵郑英彬隆艳王旭光
关键词：键合共晶键合强度
叉指式微加速度计的耦合场分析
静电伺服微加速度计的工作原理实际上是基于静电反馈力矩和弹性梁的弹性力矩与惯性力矩的平衡,精确的设计有必要建立静电与机械的耦合分析方法,对实体模型进行耦合场分析.论文研究了一种叉指式结构微加速度计,使用通用有限元软件ANS...
郑英彬
关键词：微加速度计有限元法MEMS
文献传递
基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计被引量：2
2011年
设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道。每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关。介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节。采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能。仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10GHz处的回波损耗为-36dB,插入损耗约为0.18dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8～-0.4dB。这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点。
高杨柏鹭郑英彬张茜梅秦燃
关键词：开关X波段
一种缩短微电铸加工时间的方法
本发明提供了一种缩短微电铸加工时间的方法，属于微电铸工艺技术领域。本发明提供的缩短微电铸加工时间的方法，包括在衬底上依次制备第一光刻板、第一电镀镍、第一次平坦化、第二光刻板、第二电镀镍、去胶处理、电镀铜、第二次平坦化、去...
丰伟郑英彬王颉杨晴唐彬支钞高彩云孙强张青芝王旭光
文献传递
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