钟奇
- 作品数：11 被引量：1H指数：1
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程建筑科学金属学及工艺更多>>
- 一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜，其中硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜是硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层交替沉积于基底...
- 张众钟奇王占山
- 文献传递
- 一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相...
- 张众钟奇王占山
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- 一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。本发明...
- 张众钟奇王占山
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- 端部开口和封闭的干煤棚风荷载试验研究
- 干煤棚结构一般采用轻质屋面体系,是一种典型的风敏感结构。因此,风荷载是控制结构设计的主要侧向荷载之一,是进行结构设计不可忽视的问题。本文对两个矢跨比相同而分别在端截面采用开口形式和采用半球形网壳封闭形式的干煤棚（柱面和球...
- 钟奇兰志昆黄鹏顾明
- 关键词：干煤棚风洞试验网壳结构风压系数
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- 一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相...
- 张众钟奇王占山
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- 一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。本发明...
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- 一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法
- 本发明涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法，该反射镜包括基底、硅铝合金薄膜层及锆薄膜层，硅铝合金薄膜层和锆薄膜层依次交替的沉积在基底上，直至最上层为锆薄膜层，硅铝合金薄膜层及锆薄膜层分别设有35～40层，硅铝合金薄膜层...
- 张众钟奇王占山
- 一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法
- 本发明涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法，，该反射镜包括基底、硅铝合金薄膜层及锆薄膜层，硅铝合金薄膜层和锆薄膜层依次交替的沉积在基底上，直至最上层为锆薄膜层，硅铝合金薄膜层及锆薄膜层分别设有35～40层，硅铝合金薄膜...
- 张众钟奇王占山
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- 一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法
- 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜，其中硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜是硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层交替沉积于基底...
- 张众钟奇王占山
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- Al/Zr多层膜生长模型和数值计算
- 2013年
- 在17～19nm波段,利用直流磁控溅射技术将Al(1%wtSi)/Zr多层膜镀制在掺氟的二氧化硅基底上,基于原子力显微镜对不同膜对数(N=10,40,60,80)表面粗糙度的测量结果,将多层膜的生长模型应用于实际结果中,对表面均方根粗糙度随着膜对数的变化进行了深入的分析,并对Stearns粗糙度动态生长理论的适用条件作了补充性讨论。
- 杨传春钟奇张众
- 关键词：多层膜功率谱密度表面粗糙度散射
