韩丰田 作品数:88 被引量:206 H指数:8 供职机构: 清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国防基础科研计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 交通运输工程 机械工程 自动化与计算机技术 电子电信 更多>>
可变电容式静电电机的电子换相控制系统和控制方法 本发明涉及一种可变电容式静电电机的电子换相控制系统,其包括转速/转角检测单元、微控制器以及输出放大单元。另外,本发明还提供一种可变电容式静电电机的电子换相控制方法,其包括以下步骤:S1:施加驱动电压,转子在t<Sub>i... 韩丰田 孙搏谦 李林林 刘天一文献传递 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备方法 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备工艺,通过在加工过程中对三层式的悬浮微敏感结构引入牺牲层对微敏感悬浮质量块加以约束,采用铝质薄膜将悬浮微敏感结构和体硅连接在一起,以避免后续加工对悬浮结构的影响;在完成后再用湿法刻... 董景新 王嫘 韩丰田 刘云峰文献传递 基于 PC/AT 总线的步进电机控制卡的设计及应用 被引量:4 1998年 提出一种基于PC/AT总线的三轴步进电机控制卡,讨论了其硬件组成原理及软件控制方法;在轴承套圈磨床数控系统中的使用结果表明,本文讨论的步进电机控制卡在灵活性、可靠性及易于使用等方面取得了令人满意的效果。 韩丰田 侯伯杰 阎恕忠关键词:步进电机 控制器 PC/AT 总线 数控磨床 基于转台位置工作模式的静电陀螺伺服测试装置 本发明提出一种基于转台位置工作模式的静电陀螺伺服测试装置,包括:转台台体,用于装载陀螺仪;转台控制柜,以根据转台实时角位置偏差信号对转台台体的进行运动闭环控制;壳体翻滚控制电路,与陀螺仪壳体相连,以控制陀螺仪本体相对于陀... 李冬梅 贺晓霞 韩丰田 李海霞 谭巍文献传递 数控系统中内嵌式PLC编程软件的实现 被引量:10 1999年 为缩短内嵌式PLC的开发周期,提高其通用性和扩充性,用C语言建立了内嵌式PLC的集成编程环境.编程软件可以完成PLC信号定义、系统设置和梯形图的编译,并形成一个完整的内嵌式PLC模块.采用双向链表的数据结构来描述和记录梯形图的各种信息,以实现全屏幕编辑功能. 库祥臣 韩丰田 侯伯杰 黄明生 刘凯关键词:数控系统 内嵌式 PLC 编程软件 程序控制器 TMS320C31与MAX125 A/D转换器的接口设计及应用 被引量:16 2003年 在描述MAX12 5A/D转换器的特点及工作原理的基础上 ,结合在静电悬浮控制系统中的应用 ,从硬件方面介绍了该芯片与TMS3 2 0C3 1的接口设计方法 ,并给出了数据采集过程采用定时中断方式的编程示例。 韩丰田 杨俊霞 付德报关键词:TMS320C31 MAX125 A/D转换器 接口设计 数字信号处理器 数据采集 基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术 被引量:9 2008年 设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。 韩丰田 吴秋平 吴黎明 董景新关键词:体硅工艺 静电悬浮加速度计检测线路设计及实验研究 被引量:8 2006年 本文首先介绍静电悬浮加速度计在国内外的发展现状以及在空间技术中的应用,然后介绍静电悬浮加速度计的基本工作原理。针对测量微弱差动电容ΔC的检测线路进行设计,建立了用于调制ΔC的变压器电流电桥的等效电路模型,导出了用于调制信号放大的宽带放大电路的放大倍数KAC,分析了采用2路TTL同步方波信号控制4路单刀单掷模拟开关的解调电路工作过程,估算了滤波电路的截止频率f-3dB,使得解调信号在工作频带fs内基本保持0 dB增益,在高于载波频率f0上获得较大的衰减。实验结果表明,该检测线路实际灵敏度为0.601 mV/fF,考虑线路固有噪声和寄生电容的影响,最小分辨率达到1.06 fF。 吴黎明 董景新 韩丰田关键词:加速度计 变压器电桥 相敏检波 硅微静电悬浮加速度计实验研究 2014年 硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静电加速度计的性能。测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220 g n;y轴的带宽为118.2 Hz,量程为0.313 g n;z轴的带宽为10.7 Hz,量程为3.53 g n。 张汉蒸 韩丰田 孙搏谦 马高印关键词:微机电系统 微机械加速度计 硅微谐振加速度计的模态分析与实验 被引量:6 2019年 针对硅微谐振加速度计在进行结构设计时,如何根据模态特性选取工作模态这一问题,比较分析了加速度计工作在两种不同振动模态下的性能参数。首先采用刚度法分析了谐振器的振动特性,得出能够反映谐振器振动状态的两种模态即同相振动模态和反相振动模态,结合理论推导和仿真结果得出两种振动模态下谐振频率差值与标度因数差值呈线性关系;其次通过分析两种振动模态下的能量分布情况,得出两种振动模态下谐振器的品质因数与振梁振动幅值之间的关系,同相模态振动一个周期所消耗能量约为反相模态所消耗能量的2倍;最后通过评估硅微谐振加速度计的噪声,阐明了两种振动模态下部分噪声分量不同的原因并进行了实验验证。实验结果表明,在相同驱动电压下,同相模态相比反相模态总体噪声增大25.7%。该研究为设计硅微谐振式加速度计时,确定谐振器的振动模态及驱动方案提供了参考依据。 张秀丽 何晓飞 尹永刚 方政翔 韩丰田关键词:模态分析