董景新
- 作品数：190 被引量：538H指数：11
- 供职机构：清华大学更多>>
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- 相关领域：机械工程交通运输工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
- 2011年
- 为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min.
- 王嫘韩丰田董景新刘云峰
- 关键词：体硅工艺
- 梳齿式微机械加速度计闭环系统的线性度被引量：3
- 2006年
- 为研究离心试验中微机械加速度计的线性度和输入加速度的关系,分析闭环系统的位置误差,然后根据微机械加速度计闭环系统的输出公式,对离心试验的加速度输入和电压输出之间的关系进行最小二乘分析,提出单程线性度和全程线性度的公式,证明线性度为输入的二次曲线函数,且与开环系统低频环路增益有关。线性度公式表明增大低频环路增益,增大悬臂梁机械刚度以提高线性度的方法。利用电测法估算机械参数,并利用离心试验的数据进行验证。结果表明,可以利用±1g静态翻滚试验的数学模型和电气参数来估计高g输入下的线性度,理论值与实测值符合得较好,因此可以用简单廉价的±1g线性度测试来粗略替代复杂且昂贵的离心试验进行满量程线性度的估算。
- 吴天准董景新赵长德冯宇翔
- 关键词：微机电系统离心试验线性度数学模型
- 机载武器微机械惯导系统组合导航的算法研究
- 本文列举了微机械惯导系统组合导航的几项关键技术包括捷联导航算法、组合导航算法及传递对准算法,并逐一进行了说明。重点对捷联导航算法中姿态矩阵的四种解算方法进行了对比分析;对多传感器组合导航的分类及精确制导技术作了系统说明;...
- 马芮董景新
- 关键词：机载武器组合导航
- 文献传递
- 一种加速度计
- 本发明公开了一种加速度计，包括基片和固定在基片上的加速度计主体，而加速度主体包括若干并联的敏感单元，其中，敏感单元包括：质量块，其纵向两端通过弹性件与基片固接，弹性件设置在质量块的纵向两端，其第一端与基片固接；设置在质量...
- 陶永康刘云峰董景新
- 文献传递
- 常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高被引量：5
- 2016年
- 考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降低热膨胀系数不匹配带来的频率漂移。实验测得新结构的单梁谐振频率的温度系数从典型结构的约30Hz/℃降为-1.5Hz/℃,与仿真结果-1.14Hz/℃基本一致。为了进一步提高该加速度计的零偏稳定性,设计了一种高精度测温电路用来补偿温漂,该电路测温灵敏度为96.25mV/℃,测量噪声约为0.000 2℃。实验结果表明,采用优化后的结构结合线性温度补偿的方法,可使该硅微谐振加速度计的1h零偏稳定性在常温下达到10μg以下,比改进前实验室获得的52μg水平提升了80%,满足了高精度加速度测量的要求。
- 严斌尹永刚董景新
- 关键词：硅微加速度计谐振梁结构优化温度补偿零偏稳定性
- 三电极微机械加速度计数字闭环控制电路及其接口电路以及三电极微机械加速度计系统
- 本发明提供一种三电极微机械加速度计数字闭环控制电路，其包括依次连接的电容读出前端电路、控制器、Σ-Δ调制器以及反馈电压产生电路，其中，所述控制器包括一积分器，该积分器用于使低频域的输入为零的所述电压信号输出不为零。此外，...
- 董景新储宜兴刘云峰
- 文献传递
- MEMS加速度计
- 本发明涉及一种MEMS加速度计，包括基底、两个支撑体、第一敏感结构、第二敏感结构以及用于连接第二敏感结构和第一敏感结构的承重梁。两个支撑体固定于基底表面，且相对间隔设置。承重梁架设于两个支撑体之间，且与两个支撑体分别固定...
- 尹永刚韩丰田方政翔吴秋平董景新刘云峰
- 文献传递
- 梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化被引量：16
- 2006年
- 为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。
- 吴天准董景新刘云峰赵长德
- 关键词：微机电系统性能分析线性度参数设计
- 电容检测电路及其电容式传感器接口电路芯片
- 本发明公开了一种电容检测电路及其电容式传感器接口电路芯片，涉及传感器装置领域，解决了电容检测电路结构复杂以及电容式传感器接口电路芯片体积大效率低的问题。该电容检测电路包括：电容读出前端电路，输入端与电容读出前端电路连接的...
- 董景新张刚刘民杰刘云峰
- 文献传递
- 微硅加速度计结构及线路初探被引量：3
- 1996年
- 本文在借鉴国外资料的基础上，结合现有的加工条件，对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。
- 袁光董景新
- 关键词：微硅差动电容尺寸效应军民两用技术惯性仪表不平衡电桥
