毛俊楠
- 作品数：7 被引量：19H指数：3
- 供职机构：天津大学更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 一种引入微循环分布结构的四氯化硅氢化反应器
- 本发明引入微循环分布结构的四氯化硅氢化反应器；包括下锥段、反应段、变径段、气固分离段和封头；在反应段内设置换热管束，换热管束为：在中心换热管的周围均匀分布直径相同的换热管，中心换热管的直径大于周围分布的换热管；换热管为双...
- 黄国强毛俊楠王红星华超苏国良
- 一种多晶硅还原炉
- 本发明涉及一种多晶硅还原炉。在还原炉内顶部设置有顶部隔板，顶部隔板上设置有开孔和弧形凸起结构；开孔在每对导电硅芯上方，每对导电硅芯的中心线和隔板上的相应开孔的中心线在同一轴线上；每个混合气进气喷头上方设置有弧形凸起结构，...
- 黄国强毛俊楠王红星华超
- 三氯氢硅和氢气系统的气相沉积三维模拟被引量：6
- 2012年
- 建立了氢气和三氯氢硅系统的多晶硅气相沉积反应模型,通过Chemkin 4.0耦合气相反应、表面反应机理,利用流体力学软件Fluent 6.3.26数值求解。根据模拟结果绘制了进气温度、进气组成、沉积表面温度以及反应压力与硅沉积速率的关系曲线,阐述了这些条件对于硅沉积速率的影响,同时把模拟结果与文献中的实验数据和计算结果进行对比。结果表明,硅沉积速率随反应温度和反应压力的提高而提高,随进气温度的提高而提高,当氢气摩尔组成低于0.8时,与氢气物质的量组成成正比,氢气物质的量组成大于0.8时,与氢气摩尔组成成反比。
- 黄国强毛俊楠王红星华超
- 关键词：化学气相沉积传质
- 多晶硅还原工艺的流程模拟与优化
- 针对多晶硅氯硅烷的还原体系建立了氢气和三氯氢硅系统的化学气相沉积反应模型，通过Chemkin4.0耦合气相反应、表面反应机理，利用流体力学软件Fluent6.3.26数值求解。 通过对西门子反应器中的热力学分析确定了氢...
- 毛俊楠
- 关键词：多晶硅化学气相沉积
- 一种引入微循环分布结构的四氯化硅氢化反应器
- 本发明引入微循环分布结构的四氯化硅氢化反应器；包括下锥段、反应段、变径段、气固分离段和封头；在反应段内设置换热管束，换热管束为：在中心换热管的周围均匀分布直径相同的换热管，中心换热管的直径大于周围分布的换热管；换热管为双...
- 黄国强毛俊楠王红星华超苏国良
- 文献传递
- 一种多晶硅还原炉
- 本发明涉及一种多晶硅还原炉。在还原炉内顶部设置有顶部隔板，顶部隔板上设置有开孔和弧形凸起结构；开孔在每对导电硅芯上方，每对导电硅芯的中心线和隔板上的相应开孔的中心线在同一轴线上；每个混合气进气喷头上方设置有弧形凸起结构，...
- 黄国强毛俊楠王红星华超
- 文献传递
- 硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟被引量：7
- 2012年
- 本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟。之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低;当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势;在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小。
- 黄国强潘金花毛俊楠王红星范江洋
- 关键词：硅烷化学气相沉积多晶硅数值模拟
