潘金花
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 供职机构：天津大学更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信更多>>
- 钟罩式硅烷反应器内流动与传热的数值模拟被引量：4
- 2014年
- 针对硅烷热分解生产多晶硅的过程,建立了基于动量、质量、能量同时传递并耦合硅烷热分解反应的硅烷-氢气化学气相沉积模型,采用计算流体力学方法分析了传统钟罩式硅烷反应器内的流场、温度场和浓度场。针对普通反应器内存在的死区以及沉积速率不均匀的问题,提出了新型的带出气筒的反应器结构,并对结构进行了数值模拟。计算结果表明,与普通钟罩式硅烷反应器相比,新型反应器的流场、温度场以及硅烷浓度分布更加合理,有效减小了反应器内的漩涡,缓解了气体在进出口间的"短路"现象,使硅棒表面的沉积速率更加均匀。
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- 关键词：硅烷多晶硅数值模拟
- 四氯化硅制备三氯氢硅技术研究进展被引量：3
- 2014年
- 阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法,并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用,通过对各种方法综合性的分类与讨论,指出了现存方法的优缺点,并对各种方法的应用前景进行了展望。
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- 关键词：多晶硅四氯化硅三氯氢硅氢化反应
- 四氯化硅热氢化制备三氯氢硅被引量：5
- 2015年
- 以四氯化硅和氢气为原料，利用固定床反应器高温热氢化制备三氯氢硅，研究了反应温度、反应空速、反应压力及原料物质的量的比对三氯氢硅收率的影响。结果表明，在一定条件下，升高温度，增大压力，降低空速和增加氢气（H2）与四氯化硅（SiCl4）物质的量的比，有利于增加三氯氢硅收率；但当反应温度、反应压力、氢气与四氯化硅配比增大到某一值或反应空速降低到某一值时，三氯氢硅收率增加不明显甚至有所降低。实验结果表明，四氯化硅高温热氢化制备三氯氢硅较佳工艺条件是反应温度小于1050℃，反应压力高于0．6MPa（表压），反应空速不大于1000h-1，原料氢气和四氯化硅物质的量的比为4～6。在最佳反应条件下，三氯氢硅收率达到19．81％。
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- 关键词：四氯化硅三氯氢硅氢气
- 硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟被引量：7
- 2012年
- 本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟。之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低;当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势;在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小。
- 黄国强潘金花毛俊楠王红星范江洋
- 关键词：硅烷化学气相沉积多晶硅数值模拟
- 吸附法提纯硅烷的方法
- 本发明涉及吸附法提纯硅烷的方法；在吸附柱中装有吸附剂，粗硅烷通过吸附柱入口加入、经过吸附剂吸附后，高纯硅烷经过采出口采出。吸附柱为一个或多个串联。多个串联吸附柱是由硅烷入口和出口通过管道与吸附柱相连。吸附柱的吸附温度控制...
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