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朱红伟

作品数：32 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 22篇数值孔径
  • 16篇物镜
  • 16篇光焦度
  • 16篇大数值孔径
  • 15篇像质
  • 13篇成像质量
  • 12篇投影物镜
  • 12篇像差
  • 8篇光刻
  • 8篇光束
  • 6篇场曲
  • 5篇物面
  • 5篇浸没
  • 5篇浸没式
  • 5篇反射镜
  • 4篇折光
  • 4篇紫外光刻
  • 4篇光学
  • 3篇透射
  • 3篇装调

机构

  • 32篇中国科学院

作者

  • 32篇朱红伟
  • 32篇廖志远
  • 28篇邓超
  • 28篇邢廷文
  • 28篇白瑜
  • 20篇吕保斌
  • 14篇林妩媚
  • 6篇杨雄
  • 6篇刘志祥
  • 4篇邢延文
  • 2篇张海波
  • 2篇廖志杰
  • 2篇冉英华

年份

  • 2篇2017
  • 8篇2016
  • 5篇2015
  • 11篇2014
  • 3篇2013
  • 3篇2012
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种含有两个反射镜的大数值孔径投影光学系统
本发明提出了一种含有两个反射镜的大数值孔径投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该含有两个反射镜的大数值孔径投影光学系统，沿其光轴方向包括两个同轴放置的椭球面反射镜和七个透射组。从光束入射方向依次排布透射组G1...
白瑜邢廷文邓超朱红伟吕保斌廖志远
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一种高数值孔径浸没投影物镜
本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，...
朱红伟邢廷文林妩媚白瑜廖志远邓超
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一种大数值孔径的投影物镜光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的投影物镜光学系统。本发明中的投影物镜光学系统由多个透镜组成。从物面到像面依次可分为三个镜组。其中，第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有正光焦度。本发明中的投影物镜光学系...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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一种高分辨率投影光学系统
本发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排...
白瑜邢廷文朱红伟廖志远刘志祥
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一种折反式紫外光刻物镜
本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第...
白瑜邢廷文朱红伟吕保斌邓超廖志远
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一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统。本发明中的投影光学系统由一系列透镜和两个反射镜组成。从物面到像面依次有五个镜组，其中，两个反射镜一起组成第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲、...
邓超邢廷文廖志远朱红伟杨雄
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一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，...
吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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一种非球面紫外光刻物镜
本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6，从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度，透射组2...
白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌邓超廖志远
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一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统
本发明涉及一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统。本发明中的投影光学系统由一系列透镜和两个反射镜组成。从物面到像面依次有五个镜组，其中，两个反射镜一起组成第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲、...
邓超邢廷文廖志远朱红伟杨雄
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一种非球面紫外光刻物镜
本发明提出了一种非球面紫外光刻物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该非球面紫外光刻物镜，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5和透射组6，从光束入射方向依次排布透射组1具有负光焦度，透射组2...
白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌邓超廖志远
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