吕保斌
- 作品数：42 被引量：43H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 一种投影物镜波像差检测装置及方法
- 一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
- 刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
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- 一种大数值孔径的投影物镜光学系统
- 本发明涉及一种大数值孔径的投影物镜光学系统。本发明中的投影物镜光学系统由多个透镜组成。从物面到像面依次可分为三个镜组。其中，第一透镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度，第三透镜组具有正光焦度。本发明中的投影物镜光学系...
- 吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
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- 一种光学系统波像差检测装置
- 本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动...
- 吕保斌邢延文林妩媚刘志祥
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- 一种紫外波段的高像质投影光学系统
- 本发明提出了一种紫外波段的高像质投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该紫外波段的高像质投影光学系统，沿其光轴方向包括透射组1、透射组2、透射组3、透射组4、透射组5、透射组6和透射组7，从光束入射方向依次排布...
- 白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌邓超廖志远
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- 一种光学系统像差补偿装置与方法
- 本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个...
- 刘志祥邢延文吕保斌徐富超
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- 一种大数值孔径浸没式投影物镜
- 本发明提出了一种大数值孔径浸没式投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该大数值孔径浸没式投影物镜，沿其光轴方向包括两个同轴放置的非球面反射镜和六个透射组。从光束入射方向依次排布透射组G1具有正焦距，透射组G2具有正...
- 白瑜邢廷文林妩媚朱红伟吕保斌廖志远邓超
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- 一种折反式紫外光刻物镜
- 本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第...
- 白瑜邢廷文朱红伟吕保斌邓超廖志远
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- 大口径长焦距反射式偏瞳平行光管光学设计被引量：3
- 2009年
- 对共轴卡塞格伦(Cassegrain)系统和偏瞳Cassegrain系统进行对比分析并指出其缺点.偏瞳Cassegrain系统的视场一般比较小,为增大视场、提高像质,提出将偏瞳两镜系统的次镜偏心和倾斜的方法,并用矢量像差理论简单分析了含有偏心与倾斜元件的系统的初级像差.结合实例分别设计出2种形式的光学系统.对比设计结果可以看出:该方法可以增大系统视场,提高像质,得到比较好的设计结果.
- 吕保斌李英才马臻杨利华
- 关键词：平行光管非球面反射镜光学设计
- 一种投影光学系统
- 一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一...
- 白瑜邢廷文吕保斌范真节邓超张海波
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- 非球面超精密车削对刀误差补偿被引量：1
- 2023年
- 为提高非球面超精密车削的加工精度和加工效率,通过分析非球面的面形特点和超精密车削过程中对刀误差等因素的成因,建立了刀具对刀误差对非球面加工面形误差影响的仿真模型。仿真分析进一步揭示了刀具对刀误差所带来的面形误差变化规律。试验结果表明,通过刀具对刀误差补偿,非球面超精密车削后的面形精度PV=179 nm,表面粗糙度均方根RMS=45.4 nm。试验验证了理论分析和刀具对刀误差补偿方法的正确性。
- 唐林峰李云吕保斌
- 关键词：非球面超精密车削对刀误差仿真
