张威
- 作品数:13 被引量:116H指数:4
- 供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划北京市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信兵器科学与技术经济管理更多>>
- 小尺寸SCB裸桥与涂LTNR时的电爆发火特性被引量:1
- 2020年
- 为了研究小尺寸半导体桥(Semiconductor Bridge,SCB)裸桥和涂斯蒂芬酸铅(Lead Styphnate,LTNR)时的电爆发火特性,在22μF电容放电条件下,对小尺寸磷掺杂单晶硅SCB裸桥与涂LTNR时的电爆、后期放电(Late Time Discharge,LTD)过程的能量及时间数据进行了测试和对比分析。结果表明:裸桥和涂药SCB在8 V、12 V、16 V、20 V和24 V电压下电爆能量的平均值十分接近,裸桥和涂药SCB电爆能量值与电压大小无关。随着电压的提高,裸桥和涂药SCB的LTD能量及时间按照指数规律上升,发火之后的掺杂单晶硅层汽化的面积会不断扩大。裸桥和涂药SCB所有电爆发火样品的电爆能量平均值分别为34.29μJ和34.27μJ,LTNR涂药在电爆过程中吸收能量较少,对电爆能量的影响很小。
- 樊志伟严楠贺翔张良李朝振张威李宋
- 关键词:半导体桥发火时间
- 基于MEMS力传感器的智能绑带装置研制被引量:1
- 2014年
- 该文研制了一种基于MEMS力传感器技术的智能货物绑带装置。攻克了多轴传感器的采集一致性及抗干扰等关键技术,提高了使用过程中传感器的测量信号稳定性及测量可靠性,研发了单片集成多轴MEMS力传感器,阐述了MEMS力传感器制作工艺;研究了小体积大电流控制技术,完成智能货物绑带装置的电动控制系统设计;解决了复杂电磁环境下的无线信号的可靠传输,实现稳定无线数据通信。本装置的研制,为物流行业提供了一种新的货物捆绑技术。
- 陈得民张威周浩南沈唯真
- 原电池型高分子电解质三电极氢传感器的研究被引量:6
- 2007年
- 本文以高分子固体电解质为基础制备了三电极原电池型氢气传感器,详细考察了溅射镀膜法、化学镀膜法、铂黑模压法等不同的催化电极的制备方法,及相应传感器的性能.溅射法制备的铂催化电极活性最高,性能稳定,灵敏度达到模压法制备的铂黑电极传感器的16倍,传感器在0~10^4ppm范围内输出电流与氢气浓度呈线性关系,灵敏度达到4μA/100ppm.化学镀膜法制备的铂电极性能不稳定.
- 董汉鹏张威郝一龙
- 关键词:电化学传感器氢气传感器原电池
- 活性铜阳极原电池型氧气传感器
- 2007年
- 使用活性铜电极作为阳极、以金电极为阴极、以KOH溶液为电解液,制备了原电池型氧气传感器,并对活性铜电极的制备进行了细致的考察。实验表明:以电镀铜锌合金为基础,在质量分数为10%的KOH溶液中除去合金中的锌组分,所得到的多孔活性铜具有较高的活性,所制传感器性能稳定,在氧气体积分数为0~30%的范围内,传感器输出具有较好的线性,以空气条件为零点的传感器,对体积分数为18%的氧气响应时间小于15s.以活性铜为阳极的原电池型氧气传感器不受空气中CO2的影响。
- 董汉鹏张威郝一龙
- 关键词:气体传感器原电池氧气传感器
- 用于高冲击检测硅基三轴集成压阻式MEMS加速度芯片的建模与仿真被引量:4
- 2012年
- 主要讨论硅基单芯片集成的三轴压阻式MEMS加速度计芯片的建模与仿真。通过有限元软件ANSYS建立的结构模型可以较好的理解和分析所要设计的加速度芯片在承受任意不同轴向加速度所产生惯性力时的静态表现。利用有限元软件ANSYS我们详细分析了各个悬臂梁在承受不同轴向惯性力时的应力变化,确定出敏感电阻的位置。通过LS-DYNA软件对所设计的加速度计芯片进行了不同方向撞击刚性墙时的器件受力分析,分析结果表明所设计的结构在理论上是可行的。
- 刘勐张威郝一龙
- 关键词:有限元软件硅惯性力惠斯登电桥
- 基于MEMS集成加热器的温控系统研究被引量:1
- 2014年
- 采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW,且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm,具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法,温度稳态误差小于0.1°C,并且约10秒即达到稳态,响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控,可明显抑制器件的温度漂移。
- 江少波苏卫国万松邓康发张威
- 关键词:MEMS传感器温度漂移集成度FUZZY-PID控制
- 多晶硅集成高温压力传感器研究被引量:2
- 2003年
- 高温压力传感器因其特殊的应用环境而日益受到人们的重视 .一些特殊的材料如SiC、SOI等可以用来制作高温压力传感器 ,但是由于成本较高或加工难度大等原因 ,尚未得到广泛应用 .本文提出了一种新型的高温压力传感器 ,采用多晶硅作为压敏电阻 ,同时采用新的工艺措施与全耗尽CMOS放大电路集成在一起 ,将输出电压转换为 0~ +5V的输出信号 .通过模拟与投片实验 ,得到了优化的多晶硅注入浓度 ,从而使其压阻温度系数在 - 4 0℃~ 180℃范围内接近于零 .
- 张威王阳元
- 关键词:CMOS多晶硅压力传感器
- 用于降压型DC-DC转换器的新颖过零检测电路被引量:4
- 2014年
- 针对降压型DC-DC转换器需要工作在电感电流不连续导通模式(DCM)下的场合,设计了一个输出电压自适应的过零检测方案。该方案通过采集输出电压信息来调整检测到电感零电流后的响应时间,使其在输出电压很大时倒灌电流仍然很小。采用0.5μm BCD工艺,在8V输出电压下进行芯片级仿真,结果显示,与传统过零检测电路相比,新电路的倒灌电流减小了66%。
- 朱宁莉张威
- MEMS概况及发展趋势被引量:94
- 2002年
- 主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
- 张威张大成王阳元
- 关键词:微电子机械系统微传感器微执行器
- 半导体乙醇传感器的湿度影响与氧化铌的应用被引量:3
- 2008年
- 详细考察了湿度对SnO2系半导体乙醇传感器的影响,实验表明:环境湿度会使三价金属氧化物掺杂的SnO2半导体材料灵敏度下降,其中以氧化镧掺杂的SnO2系乙醇传感器衰减严重,在相对湿度90%RH(25℃)的环境中3×10^-4体积分数的乙醇信号衰减率达到30%~40%,这种现象同样存在与In2O3和Al2O3掺杂体系的传感器上。以Nb2O5为掺杂剂的传感器体系湿度引起的灵敏度衰减轻微,用1.5%Nb2O5和0.5%La2O3配合使用的掺杂剂湿度影响较小,同时,传感器对乙醇灵敏度和选择性较好。
- 董汉鹏张威
- 关键词:信号衰减