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郑军

作品数：76 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 62篇专利
  • 10篇会议论文
  • 4篇期刊文章

领域

  • 28篇电子电信
  • 6篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 23篇电极
  • 22篇探测器
  • 20篇光电
  • 14篇波导
  • 13篇锗
  • 12篇光电探测
  • 12篇衬底
  • 11篇光电探测器
  • 11篇钙钛矿
  • 10篇硅基
  • 9篇溅射
  • 9篇红外
  • 8篇填埋
  • 8篇填埋层
  • 8篇硅材料
  • 7篇单晶
  • 7篇电池
  • 7篇雪崩
  • 7篇金属
  • 7篇发光

机构

  • 74篇中国科学院
  • 3篇华侨大学
  • 1篇中央民族大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 76篇郑军
  • 71篇成步文
  • 50篇刘智
  • 47篇左玉华
  • 24篇薛春来
  • 12篇王启明
  • 9篇李传波
  • 5篇张均营
  • 2篇于丽娟
  • 2篇丁武昌
  • 2篇张广泽
  • 1篇余金中
  • 1篇吕蓬
  • 1篇郭亨群
  • 1篇鲁军
  • 1篇徐应强
  • 1篇罗丽萍
  • 1篇张晓明
  • 1篇冯帅
  • 1篇李乐良

传媒

  • 2篇光子学报
  • 1篇半导体技术
  • 1篇太阳能
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 2篇2025
  • 10篇2024
  • 9篇2023
  • 10篇2022
  • 14篇2021
  • 8篇2020
  • 2篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2008
共 76 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种SiO<Sub>x</Sub>基锂离子电池复合负极材料的制备方法
本发明公开了一种SiO<Sub>x</Sub>基锂离子电池复合负极材料的制备方法，包括如下步骤：对SiO<Sub>x</Sub>材料进行高能球磨处理，减小SiO<Sub>x</Sub>材料的尺寸；按照一定比例将球磨处理后...
张均营李传波郑军左玉华薛春来成步文
文献传递
磁控溅射掺Er SiN薄膜的光致荧光谱
采用磁控溅射法生长了掺Er SiN薄膜,在高温退火后测试了薄膜的光致荧光谱。薄膜在可见光区域以及红外光区域都表现出了很强的光致发光,观察到了Er离子各高能级到基态的跃迁。对样品进行了RBS等物性分析,给出了薄膜的元素组成...
丁武昌郑军左玉华成步文余金中王启明郭亨群吕蓬申继伟
关键词：氮化硅铒
文献传递
表面覆盖有LiF薄膜的钙钛矿薄膜及其制备方法
本发明提供一种表面覆盖有LiF薄膜的钙钛矿薄膜及其制备方法，涉及光电材料技术领域。该方法包括：步骤S1，制得初始钙钛矿薄膜；步骤S2，使用真空热蒸发法在该初始钙钛矿薄膜表面制备LiF薄膜，得到表面覆盖有LiF薄膜的钙钛矿...
陈丹杨亚洲叶正澜刘香全左玉华郑军刘智成步文
雪崩光电探测器及其制备方法
一种雪崩光电探测器及其制备方法。一种雪崩光电探测器，包括：SOI衬底，SOI衬底包括多层含Si层；掺杂层，设置在SOI衬底的上部，并包括：倍增区；n型掺杂区，设置在倍增区的横向一侧，n型掺杂区设有与倍增区具有相同厚度的阶...
庞雅青刘智成步文郑军
一种Si基复合负极材料及其锂电池的制备方法
本发明公开了一种基于Cu<Sub>x</Sub>O包覆的Si基复合负极材料及其锂电池的制备方法，所述锂电池的制备方法包括：步骤1：配制弱酸和相对应的弱酸盐的混合水解溶液，加入铜源并超声溶解；步骤2：加入预处理的纳米Si颗...
张均营李传波郑军左玉华薛春来成步文
一种宽度渐变的硅基探测器及其制备方法
本发明公开了一种宽度渐变的硅基探测器，包括：SOI衬底，包括:底部硅材料层，二氧化硅填埋层，顶层硅，顶层硅上形成波导层；n型轻掺杂区，形成在波导层上；n型重掺杂区，形成在n型轻掺杂区的两侧；光吸收层，形成在n型轻掺杂区上...
刘智成步文郑军薛春来
文献传递
Si/Ge超薄超晶格结构外延方法
本发明提供一种Si/Ge超薄超晶格结构的外延方法，包括：步骤S1，提供衬底，对该衬底进行预处理；步骤S2，调节该衬底的温度至第一预设温度后，在该衬底上以第一预设速率沉积第一预设厚度的Si缓冲层；步骤S3，调节该衬底的温度...
张点点鲁军刘智成步文郑军左玉华
磁控溅射掺铒氮化硅薄膜的光致荧光谱
采用磁控溅射法生长了掺铒氮化硅薄膜,在高温退火后测试了薄膜的光致荧光谱。薄膜在可见光区域以及红外光区域都表现出了很强的光致发光,观察到了铒离子各高能级到基态的跃迁。对样品进行了RBS等物性分析,给出了薄膜的元素组成,并对...
丁武昌郑军左玉华成步文余金中王启明郭亨群吕蓬申继伟
关键词：磁控溅射法
文献传递
硅基锗锡厚膜的生长方法
本公开提供了一种硅基锗锡厚膜的生长方法，包括：在硅衬底上生长锗缓冲层；在锗缓冲层上生长第一锗锡层，当第一锗锡层的厚度超过临界厚度时，锗缓冲层发生弛豫；在第一锗锡层上生长第二锗锡层，第二锗锡层的锡组分随生长厚度的增加逐渐增...
崔金来郑军吴亦旸贺晨刘香全黄秦兴刘智左玉华成步文
一种Cu@SiO<Sub>2</Sub>核壳结构的制备方法
本发明公开了一种Cu@SiO<Sub>2</Sub>核壳结构的制备方法，包括：Cu(NO<Sub>3</Sub>)<Sub>2</Sub>作为铜源，以纳米Si颗粒作为硅源。在水浴加热条件下，将纳米Si加入LiOH溶液中，...
张均营李传波郑军左玉华薛春来成步文
文献传递
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