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王丹

作品数：32 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 30篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 7篇机械工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 5篇理学
  • 4篇文化科学
  • 2篇电子电信

主题

  • 9篇光刻
  • 8篇光学
  • 7篇光刻机
  • 6篇信号
  • 6篇形貌
  • 5篇工件台
  • 4篇调整装置
  • 4篇预设
  • 4篇数字化
  • 4篇光电
  • 4篇硅片
  • 3篇组件
  • 3篇光学组件
  • 3篇光栅
  • 3篇EUV
  • 2篇低通
  • 2篇低通滤波器
  • 2篇调幅信号
  • 2篇对焦
  • 2篇衍射

机构

  • 32篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 32篇王丹
  • 17篇武志鹏
  • 11篇宗明成
  • 10篇徐天伟
  • 8篇马向红
  • 4篇李世光
  • 4篇魏志国
  • 3篇孙裕文
  • 1篇黄有为
  • 1篇宋泽宇

传媒

  • 2篇光学学报

年份

  • 3篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 5篇2021
  • 11篇2020
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法
一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法，光电探测器包括：光电转换模块，用于将光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号；同步模数转换模块，用于分别将光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号...
龚士彬谢冬冬武志鹏马向红王丹宗明成
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硅片形貌图构建方法及装置
本说明书实施例提供了一种硅片形貌图构建方法及装置，其中，方法包括：采集硅片表面高度，并沿工作台扫描方向进行平均化处理，绘制硅片高度图；基于所述硅片高度图，进行曝光狭缝区域的平面拟合，绘制硅片形貌图；基于所述硅片形貌图，计...
武志鹏齐月静徐天伟王丹孟璐璐
用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机
一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质...
徐天伟王丹马向红谢冬冬齐威陈进新齐月静
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对准信号数字化同步解调方法及装置
本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该...
赵晓东谢冬冬李璟齐月静武志鹏齐威魏志国王丹
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一种调焦调平传感器测量装置
本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置，涉及测量技术领域，用于测量带有工艺的硅片的高度形貌，该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光...
宗明成李世光王丹魏志国武志鹏孙裕文
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反射式光学系统及其装调测试方法
一种反射式光学系统及其装调测试方法，该反射式光学系统包括镜筒，其中，镜筒顶部设有主镜；镜筒底部设有次镜，次镜上设有进光孔和出光孔；镜筒侧壁上设有便于三坐标探针伸入的探针孔；镜筒上设有法兰面，作为三坐标测量的基准面。本发明...
王丹徐天伟宗明成马向红谢冬冬齐月静马敬孟璐璐
用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机
一种用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置包括：密封壳体；电路板，设置于所述密封壳体内部；光电转换器件，为真空兼容型，设置于所述密封壳体外部；连接件，贯穿所述密封壳体，...
谢冬冬徐天伟马向红王丹陈进新李璟丁敏侠
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晶圆轮廓图的构造方法
一种晶圆轮廓图的构造方法，该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息，绘制初始晶圆高度轮廓图，其中，晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向，Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布；在初始晶圆高度轮廓图中确定晶...
武志鹏谢冬冬李璟王丹齐威陈进新魏志国胡丹怡
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一种反射式样品形貌测量装置及方法
本发明提供了一种反射式样品形貌测量装置及方法。所述装置包括：顺次设置的照明组件、投影标记组件、投影光学组件、探测光学组件、探测标记组件、和数据采集组件；并在所述投影光学组件和所述探测光学组件之间的光路上设置待测样品。通过...
杨光华王丹齐月静宗明成李璟卢增雄孟璐璐折昌美
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真空兼容的平面光学元件调整装置
本公开提供一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；第二调节支架，与所述第一调节支架连接，...
徐天伟王丹陈进新李璟王朋辉杨光华齐威
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