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万修龙
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2
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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张国先
中国科学院上海光学精密机械研究...
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院上海光学精密机械研究...
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2015
1篇
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点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
一种点衍射干涉波像差测量仪,由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构...
唐锋
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张国先
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点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
一种点衍射干涉波像差测量仪,由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构...
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