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白鹏

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇人身
  • 3篇人身安全问题
  • 3篇门锁
  • 3篇经济损失
  • 3篇开关
  • 3篇开关装置
  • 3篇控制模块
  • 1篇氧量
  • 1篇排气装置
  • 1篇炉体
  • 1篇环境室
  • 1篇硅片
  • 1篇含氧量
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件

机构

  • 4篇北京七星华创...

作者

  • 4篇白鹏
  • 4篇王丽荣
  • 3篇董金卫
  • 1篇魏景峰
  • 1篇兰云峰

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
门的安全开关装置
本发明公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所...
王丽荣董金卫白鹏
一种用于制造半导体器件的氧化装置
本实用新型提供了一种用于制造半导体器件的氧化装置，包括：炉体；位于炉体内的工艺管；位于工艺管内的承载石英舟；控制承载石英舟升降的升降控制部；位于升降控制部下用于保持工艺管内部温度的保温桶；位于工艺管底部的炉门；通过炉门与...
魏景峰王丽荣兰云峰白鹏
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门的安全开关装置
本实用新型公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及...
王丽荣董金卫白鹏
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门的安全开关装置
本发明公开了一种门的安全开关装置，包括固定在所述门上的门锁主体，以及固定在与门配合的腔壁上并与所述门锁主体的活动锁扣部配合的锁块，安全开关装置还包括：具有活动部的锁定单元、驱动所述锁定单元的活动部运动的驱动单元、以及向所...
王丽荣董金卫白鹏
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