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陶然
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1
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供职机构:
天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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发文基金:
天津市应用基础与前沿技术研究计划
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相关领域:
机械工程
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合作作者
武志超
天津大学精密仪器与光电子工程学...
傅星
天津大学精密仪器与光电子工程学...
郭彤
天津大学精密仪器与光电子工程学...
胡小唐
天津大学精密仪器与光电子工程学...
陈津平
天津大学精密仪器与光电子工程学...
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2016
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基于新型探针的双频原子力显微系统开发
2016年
传统原子力显微镜(AFM)在接触模式下工作时具有接触力较大、易损伤样品的缺点.本文通过对新型自感应音叉探针施加双频激励,使得AFM工作在轻敲模式下,减小了接触力和扫描过程中的侧向力影响,实现了样品表面力学特性和亚表面结构的表征.然后利用基于DSP的PI反馈控制模块,完成了线扫描实验,证明该双频原子力显微测量系统具有较好的测量能力.
郭彤
陶然
武志超
陈津平
傅星
胡小唐
关键词:
原子力显微镜
谐振频率
弹性模量
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