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胡启方

作品数：23 被引量：33H指数：4
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：北京市自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国防基础科研计划更多>>
相关领域：交通运输工程自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇交通运输工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 7篇键合
  • 7篇封装
  • 7篇硅
  • 6篇全硅
  • 5篇晶圆
  • 4篇阳极键合
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 4篇硅晶
  • 4篇硅晶圆
  • 4篇MEMS
  • 4篇MEMS器件
  • 4篇标度因数
  • 3篇光开关
  • 3篇MEMS光开...
  • 2篇单端
  • 2篇单级
  • 2篇低应力
  • 2篇电极
  • 2篇电路

机构

  • 23篇北京航天控制...

作者

  • 23篇胡启方
  • 21篇邢朝洋
  • 18篇徐宇新
  • 8篇庄海涵
  • 6篇刘福民
  • 3篇王岩
  • 3篇刘宇
  • 3篇王超
  • 2篇刘国文
  • 1篇李新坤
  • 1篇张玲
  • 1篇刘国文

传媒

  • 3篇中国惯性技术...
  • 3篇导航与控制
  • 1篇航天电子军民...

年份

  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 8篇2018
  • 6篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种三维系统封装集成应用的硅转接板制作方法
一种三维系统封装集成应用的硅转接板制作方法，涉及先进封装技术领域；包括如下步骤：步骤(一)、将第一玻璃片和低阻硅晶圆阳极键合；步骤(二)、获得低阻硅柱；去除低阻硅晶圆下表面的介质层掩膜；步骤(三)、对第二玻璃片和低阻硅晶...
李男男胡启方邢朝洋徐宇新梅崴王学亚孙俊强李娜
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一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法
本发明公开了一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法，在MEMS圆片级真空封装工艺中采用2次阳极键合实现了盖板、MEMS器件结构、衬底之间的机械和电信号连接，并形成了压力可控的MEMS密封腔体，和现有的基于硅‑硅...
胡启方李男男杨博邢朝洋梅崴徐宇新庄海涵
文献传递
一种MEMS光开关
本发明公开了一种MEMS光开关，包括驱动模块、折叠梁、支撑梁、微反射镜、输入光纤和输出光纤，其中微反射镜位于支撑梁中间位置，支撑梁的两端设置有驱动模块，驱动模块侧面设置有折叠梁；沿支撑梁方向顺向排布的驱动模块为静电梳齿驱...
梅崴邢朝洋胡启方刘福民李昌政
文献传递
一种MEMS器件的全硅化圆片级真空封装方法及封装器件
本发明涉及一种MEMS器件的全硅化圆片级真空封装方法及封装器件。采用平面电极引出方案，仅采用单个密封金属环即实现了器件的真空密封。采用平面电极的电信号引出方式有效的避免了全硅圆片封装工艺中常见的引入较大寄生电容的问题。本...
邢朝洋胡启方刘福民刘国文徐宇新刘宇
MEMS惯性器件全硅圆片级真空封装技术进展
MEMS惯性器件的具有体积小、重量轻、成本低、可集成性强等优势。然而,高精度的MEMS惯性器件如MEMS陀螺仪、MEMS谐振式加速度计需要工作在高真空、低应力环境中。采用金属管壳对高精度MEMS惯性器件进行真空封装将占用...
胡启方李男男梅崴杨博邢朝洋
关键词：MEMS惯性器件全硅
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硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势被引量：5
2017年
硅微谐振加速度计具有体积小、功耗低、准数字量输出和精度提升大的优点,是一种具有良好应用前景的高精度MEMS惯性仪表。总结分析了近些年国内外在硅微谐振加速度计方面的研究现状,主要在结构设计及工艺、测控电路设计等方面阐述了各自特点。最后,结合近些年MEMS惯性仪表的发展趋势,对硅微谐振加速度计晶圆级真空封装、测控电路数字化、仪表补偿智能化3个发展方向进行了展望。
杨博阚宝玺徐宇新胡启方
关键词：晶圆级封装测控电路温度补偿
一种横向MEMS压电-静电耦合能量采集器及加工方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的横向振动能量采集器件。其包括静电采集单元和压电采集单元，两者不是单纯物理上的叠加而是进行了深度耦合。压电能量采集单元为静电能量采集单元提供其工作所必须的初始静电电荷从而使其摆脱了电池的束...
胡启方梅崴李男男杨博邢朝洋徐宇新庄海涵
一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统
本发明公开了一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统，频率控制采用自适应控制的锁相环结构，可根据外界加速度的变化自动选择环路滤波器的控制方式，解决了现有技术中电路参数固定，无法自适应调节的问题，有效克服了锁相环路响应速度和稳...
杨博徐宇新邢朝洋胡启方
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一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构
一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构，由两种形式的单级杠杆放大机构组合而成。两级杠杆放大机构分别由杠杆输入梁、杠杆臂、杠杆支点梁和杠杆输出梁组成。第一级杠杆放大机构通过第一级杠杆输入梁与质量块相连，惯性力通过第一级杠...
王超王岩胡启方徐宇新邢朝洋
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一种MEMS器件的全硅化圆片级真空封装方法及封装器件
本发明涉及一种MEMS器件的全硅化圆片级真空封装方法及封装器件。采用平面电极引出方案，仅采用单个密封金属环即实现了器件的真空密封。采用平面电极的电信号引出方式有效的避免了全硅圆片封装工艺中常见的引入较大寄生电容的问题。本...
邢朝洋胡启方刘福民刘国文徐宇新刘宇
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