您的位置： 专家智库 > >

王勇飞

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 4篇锐角
  • 4篇自定位
  • 4篇卡紧
  • 4篇半导体
  • 2篇切面
  • 2篇卡爪
  • 1篇晶圆
  • 1篇横杆
  • 1篇衬底
  • 1篇成膜

机构

  • 4篇北京七星华创...

作者

  • 4篇兰云峰
  • 4篇王勇飞

年份

  • 4篇2016
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
半导体成膜设备、晶圆自动定位卡紧结构
本实用新型公开了半导体成膜设备、晶圆自动定位卡紧结构，包括M个定位卡紧结构，所述M个定位卡紧结构与所述基座同轴心地环形分布在所述基座上表面的周围，用于在工艺过程中卡紧所述衬底；其中，M为大于等于3的整数；所述定位卡紧结构...
王勇飞兰云峰
文献传递
半导体成膜设备、衬底自动定位卡紧结构及卡紧方法
本发明公开了一种半导体成膜设备、半导体衬底的自动定位卡紧结构及卡紧方法，包括M个定位卡紧结构，其与所述基座同轴心地环形分布在所述基座上表面的周围，用于在工艺过程中卡紧衬底；其中，M为大于等于3的整数；所述定位卡紧结构包括...
王勇飞兰云峰
文献传递
半导体成膜设备、衬底自动定位卡紧结构
本实用新型涉及半导体成膜设备、衬底自动定位卡紧结构，包括M个定位卡紧结构，其与所述基座同轴心地环形分布在所述基座上表面的周围，用于在工艺过程中卡紧衬底；其中，M为大于等于3的整数；所述定位卡紧结构包括：贯穿所述基座的定位...
王勇飞兰云峰
文献传递
半导体成膜设备、晶圆自动定位卡紧结构及卡紧方法
本发明公开了一种半导体成膜设备、半导体衬底的自动定位卡紧结构及卡紧方法，包括M个定位卡紧结构，所述M个定位卡紧结构与所述基座同轴心地环形分布在所述基座上表面的周围，用于在工艺过程中卡紧所述衬底；其中，M为大于等于3的整数...
王勇飞兰云峰
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0