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冯惠谦

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：京东方科技集团股份有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇湿法刻蚀
  • 2篇喷雾
  • 2篇气液
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀设备
  • 2篇刻蚀液

机构

  • 2篇京东方科技集...

作者

  • 2篇高雪伟
  • 2篇冯惠谦

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种气液喷雾刻蚀设备及方法
本发明提供一种气液喷雾刻蚀设备及方法。所述设备包括刻蚀腔室、气体提供装置、刻蚀液提供装置、气液混合装置、气液喷射装置；气液混合装置用于将刻蚀液提供装置提供的刻蚀液和气体提供装置提供的载气混合，形成气液混合物，其中，刻蚀液...
高雪伟冯惠谦
一种气液喷雾刻蚀设备及方法
本发明提供一种气液喷雾刻蚀设备及方法。所述设备包括刻蚀腔室、气体提供装置、刻蚀液提供装置、气液混合装置、气液喷射装置；气液混合装置用于将刻蚀液提供装置提供的刻蚀液和气体提供装置提供的载气混合，形成气液混合物，其中，刻蚀液...
高雪伟冯惠谦
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