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段英丽

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇掩模
  • 2篇掩模版
  • 2篇设计过程
  • 2篇可制造性
  • 2篇光学
  • 2篇光学模型
  • 2篇分出

机构

  • 2篇中国科学院微...

作者

  • 2篇韦亚一
  • 2篇段英丽
  • 2篇陈颖

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种版图设计规则的优化方法及系统
本发明提供一种版图设计规则的优化方法，针对先进技术节点的研发，通过将初始版图拆分出关键图形，以关键图形作为后续仿真优化的版图，在优化时，通过光源掩模协同优化仿真确定合理的光源和配套掩模版以及优化后的光刻光学模型，而后在该...
苏晓菁陈颖段英丽韦亚一
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一种版图设计规则的优化方法及系统
本发明提供一种版图设计规则的优化方法，针对先进技术节点的研发，通过将初始版图拆分出关键图形，以关键图形作为后续仿真优化的版图，在优化时，通过光源掩模协同优化仿真确定合理的光源和配套掩模版以及优化后的光刻光学模型，而后在该...
苏晓菁陈颖段英丽韦亚一
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