王龙龙
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 双探针原子力显微镜视觉对准系统被引量：6
- 2014年
- 传统的原子力显微镜(AFM)受针尖形状和放置方式的影响很难测量线条的宽度和两个侧壁的形状,故本文提出采用双探针对顶测量方案来消除AFM针尖形状对测量结果的影响。介绍了一种基于机器视觉的双探针原子力显微镜对准系统,该系统将两个探针接触到一起,实现了双探针在三维方向上的对准。系统采用具有亚微米级分辨率的镜头,配合高分辨率的CCD来获得探针的清晰图像,用于在水平和垂直两个方向实时监控双探针的运动情况。采用基于石英音叉式的自传感自调节的原子力探针,无需外加光学探测系统,缩小了系统体积,避免了杂散光对视觉对准系统的干扰。最后对针尖进行了亚像素边缘提取,精确地获取了探针之间的相对位置,实现了亚微米级的双探针对准(1μm以内)。该结论由探针之间距离与幅度/相位曲线得到了验证。
- 张华坤高思田卢明臻李伟王龙龙
- 关键词：尺寸测量视觉引导
- 基于双反馈模式的大范围自感应AFM测量系统被引量：1
- 2012年
- 为了提高原子力显微镜（AFM）的测量范围，设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统，测量系统中有两条反馈回路：一条反馈回路由压电陶瓷与AFM测头组成，动态响应较快的压电陶瓷位移台的运动量可以表征被测样品表面的高频信息；另一条反馈回路由压电陶瓷位移台和纳米测量机（NMM）的反馈控制器组成，利用压电陶瓷位移台的位移信号控制NMM运动，NMM的mm级=向测量范围使得被测样品较大变化范围的低频轮廓信息很容易地被表征出来。使用本系统对平面样品和一维栅格进行了测量实验，实验结果表明采用双反馈的测量模式的AFM测量系统能够有效地表征被测样品的低频轮廓信息和表面高频信息，测量范围能够达到mm级，纵向分辨率达到nm级，具有良好测量重复性。
- 郭彤王思明王龙龙陈津平傅星胡小唐
- 关键词：计量学
