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王思明

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇压电
  • 1篇压电陶瓷
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇自感应
  • 1篇计量学
  • 1篇AFM
  • 1篇测头

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇陈津平
  • 1篇胡小唐
  • 1篇郭彤
  • 1篇傅星
  • 1篇王龙龙
  • 1篇王思明

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于双反馈模式的大范围自感应AFM测量系统被引量：1
2012年
为了提高原子力显微镜（AFM）的测量范围，设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统，测量系统中有两条反馈回路：一条反馈回路由压电陶瓷与AFM测头组成，动态响应较快的压电陶瓷位移台的运动量可以表征被测样品表面的高频信息；另一条反馈回路由压电陶瓷位移台和纳米测量机（NMM）的反馈控制器组成，利用压电陶瓷位移台的位移信号控制NMM运动，NMM的mm级=向测量范围使得被测样品较大变化范围的低频轮廓信息很容易地被表征出来。使用本系统对平面样品和一维栅格进行了测量实验，实验结果表明采用双反馈的测量模式的AFM测量系统能够有效地表征被测样品的低频轮廓信息和表面高频信息，测量范围能够达到mm级，纵向分辨率达到nm级，具有良好测量重复性。
郭彤王思明王龙龙陈津平傅星胡小唐
关键词：计量学
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共1页<1>
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