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山磊

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：西安电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电极
  • 2篇电极对
  • 2篇屈曲
  • 2篇驱动器
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械光开关
  • 2篇微驱动
  • 2篇微驱动器
  • 2篇静电式
  • 2篇开关
  • 2篇开关时间
  • 2篇开关阵列
  • 2篇光开关
  • 1篇低电压
  • 1篇电压
  • 1篇动力方程
  • 1篇动态特性
  • 1篇麦克斯韦
  • 1篇静电驱动
  • 1篇拉格朗日

机构

  • 4篇西安电子科技...

作者

  • 4篇山磊
  • 3篇田文超
  • 1篇陈志强

传媒

  • 1篇计算物理

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
新型低电压大变形微驱动器数值求解及仿真
2014年
针对横向加载单向变形MEMS静电微驱动器位移过小或驱动电压过大问题,提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低驱动电压静电驱动器模型;基于拉格朗日-麦克斯韦机电动分析力学,建立轴向横向同时加载的微驱动器动力方程;分析温度应力、静电调节力和轴向挤压力对轴向载荷的影响;基于龙格-库塔算法和有限差分法分别将横向分布载荷和轴向载荷等效转化为横向集中载荷;仿真得到变形同驱动电压、调节电压、轴向挤压量和温差的关系;结果显示当驱动电压仅为16 V时,位移高达10.861μm,远大于传统横向加载单向变形微驱动器的位移量.实验验证了仿真结果.
田文超陈志强山磊
关键词：微驱动器
直梁屈曲静电式微机械光开关
本发明公开了一种直梁屈曲静电式微机械光开关，主要解决现有光开关驱动电压高、开关时间长、能耗高等问题。本发明包括：中间位置为菱形结构的微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、驱动电极对(305，306)、调节...
田文超山磊
文献传递
硅基微驱动器的建模与分析
微驱动器作为MEMS的重要组成部分，近年来引起国内外的广泛关注。目前微驱动器普遍存在驱动电压高、变形小等问题，从而缩小了应用范围。针对这一缺陷，本文提出了一种低电压驱动、大变形的硅基微驱动器，可应用于微机械光开关、微谐振...
山磊
关键词：MEMS微驱动器静电驱动动态特性
文献传递
直梁屈曲静电式微机械光开关
本发明公开了一种直梁屈曲静电式微机械光开关，主要解决现有光开关驱动电压高、开关时间长、能耗高等问题。本发明包括：中间位置为菱形结构的微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、驱动电极对(305，306)、调节...
田文超山磊
文献传递
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