刘志祥
- 作品数：36 被引量：69H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 软件定义网络中的网络资源分配与路由策略研究
- 随着通信网络的不断发展，新的网络协议不断出现，网络也变得越来越复杂，网络僵化逐渐制约网络的创新与发展。软件定义网络作为一种新型网络架构，通过分离数据平面与控制平面，简化网络管理逻辑，打破了通信网络的发展瓶颈，是下一代网络...
- 刘志祥
- 关键词：资源分配路由规划负载均衡网络节能
- 文献传递
- 一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
- 本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，...
- 吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
- 文献传递
- 五角棱镜的三维抖动及制造角差对转向角的影响被引量：2
- 2009年
- 根据旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论,运用MatLab编写通用的五角棱镜的光线矢量追迹函数及相关分析程序,详尽、全面地分析了五角棱镜的三维抖动及制造角差对其转向角的影响。分析结果表明:制造角差只与沿扫描方向的转向角偏差成线性关系,当满足一定关系时,制造角差对转向角无影响;滚动角、偏摆角与垂直于扫描方向的转向角偏差成线性关系,偏摆角与沿扫描方向的转向角偏差成二次函数关系。最后还给出了在一定范围内精度较高的近似公式。
- 刘志祥马冬梅卞江崔宇
- 关键词：光学测量五角棱镜转向角MATLAB
- 光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法
- 本公开提供了一种光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法，其装置包括：照明装置、分光装置、透镜阵列、掩模板、反射器件、光电探测装置和控制器；照明装置产生准直的光束，经分光装置透射，透镜阵列聚焦至掩模板进行空间滤波至光刻投影物镜...
- 许嘉俊刘志祥邢廷文林妩媚
- 632.8nm高精度移相菲佐干涉仪测量误差分析被引量：16
- 2010年
- 为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8nm移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种主要误差:移相误差、几何结构误差、振动误差、探测器误差(非线性误差和量化误差)、光源误差(波长不稳定和强度不稳定)、空气扰动和折射率变化误差。通过对这些误差理论分析和模拟,量化了各误差对测量精度的影响,其中移相误差、几何误差、振动误差和空气折射率误差影响最为显著。根据测量精度要求和仿真结果,得到实现纳米级测量的干涉仪系统参数和环境参数设置要求。
- 魏豪明邢廷文李云刘志祥
- 关键词：光学检测误差分析
- 一种制作曲面浮雕轮廓器件的掩模版图案优化设计方法
- 本发明公开了一种制作曲面浮雕轮廓器件的掩模版图案优化设计方法，根据曝光光强分布与光刻胶不同成分的吸收系数、光敏系数等参数的关系，建立光刻胶的光敏混合物(PAC)浓度分布对曝光光强的响应模型；根据光刻胶完全曝光的显影速率、...
- 刘志祥徐富超贾辛谢强
- 文献传递
- 一种高分辨率投影光学系统
- 本发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排...
- 白瑜邢廷文朱红伟廖志远刘志祥
- 文献传递
- 光学成像系统波相差的测试方法
- 本发明涉及对光学成像系统的成像质量进行精确测评的检测方法，特别是一种光学成像系统波相差的测试方法。被照明光源照亮的星点目标板发出的光经平行光管后成为平行光，被测试光学系统接收此平行光后在其光学系统的像面上形成星点目标板的...
- 马冬梅陈土泉刘志祥聂真威
- 文献传递
- 一种投影物镜波像差检测装置及方法
- 一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台...
- 刘志祥刘学峰吕保斌陈红丽甘大春何毅
- 文献传递
- 一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统
- 本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，...
- 吕保斌邢延文林妩媚白瑜邓超朱红伟廖志远刘志祥
- 文献传递
