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刘肖
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
厦门大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
自动化与计算机技术
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合作作者
陈旭远
厦门大学物理与机电工程学院
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2008
1篇
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RF MEMS开关的力电耦合仿真分析
被引量:4
2007年
设计了一种曲臂折合结构的固支梁式RF MEMS开关。并用ANSYS有限元分析软件对此结构模型及3种基本的固支梁式RF MEMS开关结构模型进行力电耦合仿真模拟。通过静态、模态分析,得出了不同开关结构的激励电压、固有频率和阻尼Q因子。通过谐振态分析和瞬态分析再现了各结构开关在高频激励电压下的工作情况,并用"位移/时间"表量化显示了固支梁在单周期内下拉、回复过程中的运动轨迹。通过数值计算和比较,结果表明:曲臂折合式开关具有较低的下拉电压和较高响应速度,以及更稳定的工作模态。
刘肖
陈旭远
关键词:
ANSYS
MEMS
阵列激励电极式RF MEMS电容开关的设计与数值分析
与传统的半导体开关相比,RF MEMS开关具有体积小、能耗小、插入损耗低,以及高隔离度等优点。在地面无线通讯技术、卫星通讯系统中具有广泛的应用前景。 本课题主要研究内容是针对RF MEMS开关中由于介质层薄膜中...
刘肖
关键词:
开关结构
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