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辛将

作品数：21 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学文化科学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 7篇衍射
  • 6篇守恒
  • 6篇守恒定律
  • 6篇能量守恒
  • 6篇能量守恒定律
  • 5篇衍射光学
  • 5篇衍射光学元件
  • 5篇光学
  • 5篇光学元件
  • 4篇配光
  • 4篇光刻
  • 4篇光源
  • 4篇方孔
  • 4篇高宽比
  • 4篇波长
  • 4篇大高宽比
  • 3篇衍射效率
  • 3篇透光
  • 3篇光斑
  • 3篇光分

机构

  • 20篇中国科学院微...
  • 2篇安徽大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 21篇辛将
  • 20篇朱效立
  • 20篇谢常青
  • 20篇刘明
  • 3篇高南
  • 1篇陈军宁
  • 1篇徐超
  • 1篇潘一鸣
  • 1篇李志超

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 7篇2013
  • 9篇2012
  • 3篇2011
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种制作大高宽比光子筛的方法
本发明公开了一种制作大高宽比光子筛的方法，该方法包括：制作光子筛掩模版和光学套刻掩模版；利用光子筛掩模版做掩模做X射线复制得到第一复制掩模版；利用第一复制掩模版再次做X射线复制得到第二复制掩模版；利用光学套刻掩模版做掩模...
谢常青辛将朱效立高南刘明
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一种金属结构衍射光学元件及其设计方法
本发明实施例公开了一种金属结构衍射光学元件的设计方法，该方法包括：根据入射波长λ，选择制作所述金属结构衍射光学元件的基底材料和金属材料；在所述金属材料上选择取样点，并根据入射波长确定所述取样点处要嵌入的金属方孔的边长，所...
谢常青辛将朱效立刘明
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一种深度调制金属结构衍射光学元件及其设计方法
本发明实施例公开了一种深度调制金属结构衍射光学元件的设计方法，该方法包括：根据入射波长λ，选择制作所述深度调制金属结构衍射光学元件的基底材料和金属材料；在所述金属材料上选择取样点，并根据入射波长确定所述取样点处要嵌入的金...
谢常青辛将朱效立刘明
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一种利用自由曲面透镜实现光束匀光控制的方法
本发明公开了一种利用自由曲面透镜实现光束匀光控制的方法，包括：步骤1：确定需要进行匀光控制的光源的光分布形式；步骤2：确定实现匀光控制区域的位置信息；步骤3：确定透镜材料；步骤4：基于能量守恒定律，将匀光控制区域划分成若...
谢常青辛将朱效立刘明
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LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜
本发明提供了一种LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜，按照能量等分原则将LED光源划分成预设份数的子光源，并将确定的照明区域划分成与所述LED光源相同份数且每份面积相等的照明网格；按照能量守恒定律建立每份子光源和每...
谢常青辛将朱效立刘明
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LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜
本发明提供了一种LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜，按照能量等分原则将LED光源划分成预设份数的子光源，并将确定的照明区域划分成与所述LED光源相同份数且每份面积相等的照明网格；按照能量守恒定律建立每份子光源和每...
谢常青辛将朱效立刘明
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自支撑X射线光学元件的制作工艺及应用
X射线是现代科学研究中非常重要的工具，在现代新能源研究以及航空航天等领域都有着广泛的应用。在实现X射线核心功能的过程中，X射线光学元件起着至关重要的作用。X射线作为一种波长非常短的电磁波，它的特性与人们熟悉的可见光迥异，...
辛将
关键词：X射线衍射光学元件
大高宽比光子筛及其制备方法
本发明公开了一种大高宽比光子筛及其制备方法。该大高宽比光子筛，包括衬底和光子筛柱。其中：衬底包括光子筛区域和边缘区域，边缘区域对预设波长的光不透明，光子筛区域除光子筛柱所在的区域外对预设波长的光透明；光子筛柱，为近似圆柱...
谢常青辛将朱效立潘一鸣刘明
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一种高透过率光子筛
本发明公开了一种高透过率光子筛，包括：不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，方形微孔的边长为其所在圆环环带...
谢常青辛将朱效立刘明
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制备大高宽比结构器件的方法
本发明公开了一种制备大高宽比结构器件的方法。该方法采用分次沉积图形层的方法，通过控制沉积图形的次数以及每次沉积图形的高宽比来控制高宽比，提高了制作高宽比很大的器件的成功率，降低了生产成本。并且，本发明采用一次电子束直写和...
谢常青辛将朱效立高南刘明
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