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陈盛

作品数:8 被引量:2H指数:1
供职机构:上海大学更多>>
发文基金:上海市教育委员会重点学科基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇硅薄膜
  • 4篇气相沉积
  • 4篇非晶硅
  • 4篇非晶硅薄膜
  • 2篇导体
  • 2篇电池
  • 2篇探测器
  • 2篇特殊设计
  • 2篇气相
  • 2篇气相沉积法
  • 2篇物理气相沉积
  • 2篇纳米硅
  • 2篇晶化率
  • 2篇晶粒
  • 2篇晶粒大小
  • 2篇激光晶化
  • 2篇Γ射线
  • 2篇Γ射线探测器
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体薄膜

机构

  • 8篇上海大学

作者

  • 8篇陈盛
  • 6篇史伟民
  • 4篇余俊阳
  • 4篇金晶
  • 2篇郭余英
  • 2篇郑耀明
  • 2篇黄璐
  • 2篇张瑜
  • 2篇秦娟
  • 2篇陈洁利
  • 2篇王漪
  • 1篇夏义本
  • 1篇曹泽淳

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法,主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法,它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法,属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
文献传递
用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为:(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底,并进行洁净处理;(2)非晶硅薄膜的制备,用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法
本发明涉及一种用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法。属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。本发明方法主要过程为:(1)将镀有氧化铟锡(ITO)的玻璃作为衬底,并进行洁净处理;(2)非晶硅薄膜的制备,用气相沉积法在玻璃衬底上沉积...
史伟民金晶陈盛陈洁利余俊阳黄璐
文献传递
激光晶化非晶硅薄膜的表面机理研究被引量:2
2010年
采用PECVD工艺在普通玻璃衬底上制备非晶硅薄膜,用波长为532nm的倍频Nd:YAG激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度对非晶硅薄膜表面结晶度以及晶粒大小的影响,并对晶化后的非晶硅表面形貌进行了表征。研究结果表明:该非晶硅薄膜晶化的阈值能量密度为800 mJ/cm^2,当激光能量密度大于该值时,晶化效果反而变差。同时经过拉曼光谱表征,经由高斯拟合和数值计算得出薄膜结晶度在45%~60%之间,平均晶粒尺寸在30~50nm。
陈盛史伟民金晶秦娟王漪夏义本
关键词:等离子体化学气相沉积激光晶化纳米硅
智能电网视角下的智能用电技术
陈盛
关键词:智能电网智能电表需求响应
激光诱导晶化法制备太阳能电池纳米硅薄膜
非晶硅(a-si)薄膜太阳电池比起晶体硅太阳电池有诸多优势。但是同时,a-si的缺点也是很明显的,主要就是初始光电转换效率较低,稳定性较差.为此,我们在a-si薄膜的基础上引入再结晶技术,利用激光诱导晶化的方法将沉积好的...
陈盛史伟民金晶秦娟王漪曹泽淳
文献传递
超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法
本发明涉及一种超声波作用下碘化汞薄膜的制备方法,主要是在超声波作用下的真空蒸发物理气相沉积生长薄膜的方法,它特别是一种χ射线、γ射线探测器用的碘化汞多晶半导体薄膜的制备方法,属半导体薄膜制备工艺技术领域。本发明利用一特殊...
郑耀明史伟民郭余英张瑜陈盛余俊阳
文献传递
太阳电池级用非晶硅薄膜的表面晶化工艺研究
陈盛
关键词:激光晶化溶液法非晶硅太阳电池
共1页<1>
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