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陈玉琴

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：福州大学机械工程及自动化学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金福建省教育厅资助项目更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇原子力显微镜
  • 1篇多孔
  • 1篇多孔氧化铝
  • 1篇多孔氧化铝模...
  • 1篇氧化铝模板
  • 1篇阵列
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇线宽
  • 1篇线宽测量
  • 1篇纳米
  • 1篇计量学
  • 1篇合成法
  • 1篇AFM
  • 1篇不确定度
  • 1篇测量不确定度

机构

  • 2篇福州大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇中国科学院福...

作者

  • 2篇韩国强
  • 2篇陈玉琴

传媒

  • 1篇计量学报
  • 1篇压电与声光

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
AFM线宽测量不确定度的分析与评定被引量：1
2012年
详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源，给出了基于几何形状的线宽测量模型，提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法。确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线宽测量不确定度的主要来源，并对其进行了定量分析。普通Si3N4探针针尖引起的不确定度分量约占线宽总量的5％。
韩国强陈玉琴
关键词：计量学原子力显微镜线宽测量不确定度
基于模板合成法的纳米金柱阵列制备
2012年
基于模板合成法,在多孔氧化铝(PAA)模板上用磁控溅射沉积金薄膜,制备出高度有序的纳米金柱阵列结构。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所加工的金柱阵列结构进行表征。所加工的纳米结构为柱状金纳米阵列,金柱直径约为60nm,金柱尖端直径约20nm,高度为300～600nm,相邻金柱平均间距约为100nm。纳米金柱阵列结构与多孔氧化铝模板(PAA)貌一致,阵列分布规则,柱体大小均匀。
韩国强陈玉琴
关键词：多孔氧化铝模板扫描电子显微镜原子力显微镜
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